GAMA Series 6/8英寸全自動槽式清洗機滿足全部濕法工藝需求，覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應(yīng)用，GAMA Series 6/8英寸全自動槽式清洗機可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點，可支持90nm工藝節(jié)點，可兼容6寸和8寸晶圓。

設(shè)備特點

•緊湊結(jié)構(gòu)，節(jié)省空間：通過一體化集成設(shè)計，將清洗、供液、控溫等功能濃縮于緊湊機身內(nèi)，相比傳統(tǒng)清洗設(shè)備占地面積減少約 20%-30%（具體比例因配置不同略有差異），可靈活嵌入密集型產(chǎn)線；

•模塊化配置，靈活擴展：支持 “基礎(chǔ)模塊 + 可選模塊” 的組合模式，例如基礎(chǔ)配置包含 2-3 個清洗槽，客戶可根據(jù)工藝需求額外增加光刻膠剝離槽、金屬雜質(zhì)去除槽等，或擴展化學(xué)試劑循環(huán)回收模塊，實現(xiàn)功能與產(chǎn)能的按需定制；

•成熟工藝槽，穩(wěn)定可靠：工藝槽內(nèi)壁經(jīng)過特殊拋光處理，減少試劑殘留與吸附，同時配備高效攪拌與溢流系統(tǒng)，確保槽內(nèi)試劑均勻性，長期運行后仍能維持穩(wěn)定的工藝效果，降低設(shè)備維護頻率；

•精確化學(xué)稱量，質(zhì)量可控：稱量精度可達 ±0.1g（針對液態(tài)試劑），并具備試劑濃度實時監(jiān)測與自動補加功能，當(dāng)濃度低于設(shè)定閾值時，系統(tǒng)可自動補充高濃度試劑，確保工藝全程試劑濃度穩(wěn)定，避免因濃度偏差導(dǎo)致的晶圓報廢風(fēng)險。

產(chǎn)品應(yīng)用

•晶圓尺寸適配：明確支持 6 英寸與 8 英寸兩種主流晶圓規(guī)格，通過可調(diào)節(jié)的晶圓承載架與定位系統(tǒng)，實現(xiàn)不同尺寸晶圓的無縫切換，單臺設(shè)備即可滿足中小尺寸晶圓產(chǎn)線的清洗需求，無需為不同尺寸單獨配置設(shè)備；

•適用材料覆蓋：可處理硅（集成電路核心襯底材料）、碳化硅（功率半導(dǎo)體常用的寬禁帶半導(dǎo)體材料）、硅基氮化鎵（射頻器件、功率器件的關(guān)鍵材料），適配不同半導(dǎo)體材料的特性，針對每種材料的化學(xué)耐受性優(yōu)化清洗試劑與工藝參數(shù)，避免材料損傷；

•適用工藝場景：覆蓋半導(dǎo)體制造全流程的濕法工藝需求 —— 預(yù)清洗（晶圓進入下一工序前的基礎(chǔ)清潔，去除表面浮塵與輕微污染）、去膠清洗（去除光刻工藝后殘留的光刻膠，為后續(xù)刻蝕或沉積做準(zhǔn)備）、氮化硅去除（選擇性剝離晶圓表面的氮化硅保護層或介質(zhì)層）、金屬去除（針對鈷、鈦等特定金屬雜質(zhì)或金屬層的精準(zhǔn)去除）、Recycle 清洗（通過試劑循環(huán)利用實現(xiàn)的經(jīng)濟型清洗，降低耗材成本）、拋光后清洗（去除化學(xué)機械拋光后的研磨顆粒與殘留漿料）、Epi 前 / 后清洗（外延工藝前去除襯底雜質(zhì)保障外延質(zhì)量，外延后清潔外延層表面污染物）；

•適用領(lǐng)域延伸：廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域（支撐邏輯芯片、存儲芯片制造全流程的清洗需求）、襯底材料領(lǐng)域（用于硅襯底、碳化硅襯底制備過程中的表面清潔，確保襯底純度）、化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域（適配碳化硅、氮化鎵等化合物材料的清洗工藝，助力射頻、光電子器件制造）、功率半導(dǎo)體領(lǐng)域（針對功率器件的高可靠性需求，提供高精度的金屬雜質(zhì)去除與表面清潔，提升器件耐壓性與壽命）。