過濾器掃描檢漏儀
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/12/4 15:34:26
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|
為了確保過濾器的質(zhì)量,ISO 29463-1 要求對過濾效率達(dá)到 99.95% 或更高(ISO35H/H13)的HEPA /ULPA 過濾器進(jìn)行以下測試:
1、根據(jù) ISO 29463-4 標(biāo)準(zhǔn)的局部效率測試
2、根據(jù) ISO 29463-5 標(biāo)準(zhǔn)的整體效率測試
LFT 3000 將ISO 標(biāo)準(zhǔn)的要求與簡單的程序運作和快速的測試運行相結(jié)合。它由計算機(jī)控制,配有相應(yīng)的軟件來執(zhí)行測試,并能簡單快速地檢驗可能的泄漏點。
除局部過濾器效率外,整體效率也是測試報告的一部分。
過濾器掃描檢漏儀以下部分組成 :
1、帶體積流量測量和原氣采樣的供氣管道
2、水平過濾器支架(用于不同尺寸過濾器的適配器)
3、原氣側(cè)的氣溶膠發(fā)生器和稀釋裝置
4、帶采樣和集成粒子計數(shù)器的掃描系統(tǒng)
5、控制和評估裝置,包括Windows 界面軟件
首先,進(jìn)氣以規(guī)定的體積流量通過內(nèi)置過濾器。
在此過程中,粒子計數(shù)器測量上游的粒子濃度和尺寸。LFT 系統(tǒng)的一個優(yōu)點是測試對象的測試參數(shù)是根據(jù)過濾器等級的規(guī)格和相關(guān)的體積流量自動計算出來的。
設(shè)置和順序被儲存起來,可以隨時調(diào)用進(jìn)行重復(fù)測量。
隨后,通過掃描過濾器表面記錄壓降。安裝在出口側(cè)的掃描系統(tǒng)使用顆粒計數(shù)器測量下游氣體中顆粒的局部排放量和大小。由此計算出局部的過濾效率。其結(jié)果是:可快速、輕松地檢驗到泄漏。

過濾器掃描檢漏儀主要設(shè)備
氣溶膠發(fā)生器
我們建議使用帶有 Laskin 噴嘴的 PLG 2100 H,以盡可能提高氣溶膠生成的一致性。
粒子計數(shù)器
光學(xué)顆粒計數(shù)器,流速為 28 l/min,測量范圍可選擇 0.1 μm 或 0.3 μm。
掃描噴嘴
根據(jù) ISO 29463 標(biāo)準(zhǔn)專門設(shè)計,掃描速度高達(dá) 10 cm/s。
掃描單元
帶線性驅(qū)動的快速移動系統(tǒng)可捕捉整個濾網(wǎng)區(qū)域。
無憂包裝
Palas® 驗收、交付、現(xiàn)場安裝、指導(dǎo)和終檢
優(yōu)點
快速準(zhǔn)確的掃描
自動檢驗報告
清晰的泄漏檢驗
濾芯安裝簡便
適用于各種過濾器尺寸的適配器
規(guī)格參數(shù)
體積流量: 100 ? 1,200 m3/h
壓差測量:不超過1,200 Pa
壓縮空氣: 供應(yīng)6 bar
電源:400 V, 50 Hz
濾芯尺寸: 300 x 300 ? 600 x 1.200 mm
應(yīng)用范圍
HEPA/ULPA 過濾器的分類
根據(jù) ISO 29463-4/5 進(jìn)行過濾器測試
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