化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>氧化擴散設(shè)備>DF系列 韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴散器
DF系列 韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴散器
| 參考價 | ￥ 3655 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DF系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/12/29 13:27:25
- 訪問次數(shù) 268
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韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴散器
韓國PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴散器
- 產(chǎn)品名稱：BIKAL™ DF系列高純度氣體擴散器
- 產(chǎn)品類型：氣體擴散器（Gas Diffuser）
- 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體和顯示制造工藝中的氣體輸送系統(tǒng)
主要功能與優(yōu)勢
- 快速排氣擴散 – 縮短腔體抽真空/通氣時間，提高產(chǎn)能
- 高純度設(shè)計 – 所有潤濕表面電解拋光，顆粒析出極低
- 低壓損 – 特殊流道設(shè)計，保證大流量同時壓降最小
- 結(jié)構(gòu)緊湊 – 可直接安裝在氣柜或腔體入口，節(jié)省空間
- 高可靠性 – 全金屬密封，氦檢漏 ≤1×10?? cc/sec
技術(shù)規(guī)格（公稱值）
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 潤濕材料 | 316L EP 管 + 316L 不銹鋼燒結(jié)濾芯 |
| 表面處理 | 內(nèi)部 Ra ≤5 μin（電解拋光） |
| 工作壓力 | 1 MPa（@20 ℃） |
| 工作溫度 | 200 ℃ |
| 過濾/擴散等級 | ≥0.003 µm，9 LRV（99.9999999 %） |
| 氦泄漏率 | 1×10?? cc/sec |
| 接口類型 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR 或 SWG 可選 |
典型型號與尺寸（單位：mm）
| 型號 | A | B | C | D | E | 接口 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DFV4-025-84 | 84 | 42.5 | 25.4 | 16 | 17 | 1/4" VCR |
| DFV4-038-84 | 84 | 44.6 | 38.1 | 23.8 | 17 | 3/8" VCR |
| DFV8-038-110 | 110 | 67.3 | 38.1 | 23.8 | 23.8 | 1/2" VCR |
應(yīng)用場景
- 晶圓傳輸腔體（Loadlock）快速 vent
- 工藝腔體初始充氮或清潔干燥空氣
- AMHS 設(shè)備內(nèi)微環(huán)境氣體均衡
- 任何需要“高速、低顆粒、低波動”擴散的超高純氣體節(jié)點
DF 系列擴散器通過多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。
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