PIEZOCONCEPT HS1H 帶孔徑1軸納米定位平臺(tái) 光學(xué)穿透型精密設(shè)備 光學(xué)檢測專用

在光學(xué)檢測、光束傳輸?shù)葓鼍爸?，定位平臺(tái)的光學(xué)穿透性與高精度是核心需求。PIEZOCONCEPT HS1H 帶孔徑1軸納米定位平臺(tái)以“中心孔徑設(shè)計(jì)、高速響應(yīng)、高剛性”為核心特點(diǎn)，解決了傳統(tǒng)平臺(tái)遮擋光路的行業(yè)痛點(diǎn)，可單獨(dú)使用或堆疊成多軸系統(tǒng)，為光學(xué)檢測、光鑷技術(shù)等場景提供精準(zhǔn)定位支持。

一、PIEZOCONCEPT HS1/HS1H 高速納米位移臺(tái)核心技術(shù)參數(shù)優(yōu)勢

該平臺(tái)在HS1系列基礎(chǔ)上增加中心孔徑設(shè)計(jì)，孔徑尺寸達(dá)20mm，支持光束或檢測探頭穿透，不影響光學(xué)路徑。行程覆蓋10μm~100μm多檔位，分辨率低至0.01nm，重復(fù)定位精度優(yōu)于0.2nm。主體采用7075鋁合金材質(zhì)，PZT致動(dòng)器與運(yùn)動(dòng)方向平行布置，剛度達(dá)5.2N/μm，水平負(fù)載1kg，垂直負(fù)載0.5kg，共振頻率1500Hz~7000Hz，階躍響應(yīng)時(shí)間短于2ms。

二、PIEZOCONCEPT HS1/HS1H 高速納米位移臺(tái)行業(yè)應(yīng)用場景

在光學(xué)檢測領(lǐng)域，該平臺(tái)的20mm中心孔徑可讓檢測光束直接穿透，配合10μm行程與7000Hz共振頻率，可精準(zhǔn)控制樣品位置，實(shí)現(xiàn)高速光學(xué)掃描，適配激光干涉儀、光譜檢測等設(shè)備；在光鑷技術(shù)應(yīng)用中，光束可通過中心孔徑捕獲納米顆粒，平臺(tái)的高速響應(yīng)能力確保顆粒移動(dòng)過程穩(wěn)定，0.01nm分辨率避免捕獲偏差；在多軸光學(xué)系統(tǒng)中，通過堆疊HS1H組成XY軸平臺(tái)，中心孔徑對齊可實(shí)現(xiàn)光束的二維掃描，搭配Z軸平臺(tái)后形成XYZ系統(tǒng)，適配激光加工、光刻等場景。

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司，田永福。

三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢與用戶價(jià)值

PIEZOCONCEPT HS1H 帶孔徑1軸納米定位平臺(tái)的核心優(yōu)勢在于“光學(xué)穿透+高速高精度”的組合，20mm中心孔徑解決了傳統(tǒng)定位平臺(tái)遮擋光路的關(guān)鍵問題，為光學(xué)檢測提供便利。多軸堆疊兼容性強(qiáng)，可通過適配板組合成多軸系統(tǒng)，軸標(biāo)識(shí)清晰，連接便捷。閉環(huán)控制模式下可消除蠕變與滯后效應(yīng)，硅傳感器確保位移反饋準(zhǔn)確，線性度誤差低于0.02%。安裝過程簡單，單軸安裝僅需M3螺絲固定，扭矩不超過0.5Nm即可保障結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。

對于光學(xué)設(shè)備采購經(jīng)理，該平臺(tái)的光學(xué)穿透性拓展了設(shè)備應(yīng)用范圍，高速高精度特性提升檢測效率與精度；維修工程師可通過標(biāo)準(zhǔn)化接口快速排查問題，平臺(tái)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，故障率低，維護(hù)成本低。作為光學(xué)檢測專用定位設(shè)備，該平臺(tái)為光束傳輸、樣品定位提供穩(wěn)定支持，助力光學(xué)設(shè)備性能提升。