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高低溫探針臺

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艾博納微納米科技(江蘇)有限公司致力于科研器材的研發(fā)與生產(chǎn)，以國際科研單位力量為支點(diǎn)，凝聚社會力量共同謀求推動全“人類科學(xué)發(fā)展與進(jìn)步”。艾博納微納米科技（江蘇）有限公司創(chuàng)立于中國江蘇，用戶群體分布于世界各國以及國內(nèi)大陸大部分地區(qū)。公司主營業(yè)務(wù)有物理科研器材、二維材料轉(zhuǎn)移裝置、二維材料微納加工設(shè)備、微納米光學(xué)系統(tǒng)包括遠(yuǎn)場以及近場全波段光學(xué)顯微系統(tǒng)研發(fā)、國產(chǎn)原子力顯微鏡、耗材（包含氮化硼國產(chǎn)高質(zhì)量生長等各種晶體、硅片、超干凈藍(lán)膜膠帶等）、其他二維材料制備相關(guān)設(shè)備如等離子處理儀、顯像設(shè)備等。所有經(jīng)由我司售賣的產(chǎn)品均享受售后保障，用戶可放心購買。

 

 

 

探針臺，二維材料轉(zhuǎn)移臺，金相顯微鏡，步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)控制器，原子力顯微鏡，拉曼光譜儀

　　產(chǎn)品型號：ABN-VPS-001
 

 

　　1. 產(chǎn)品概述
　　艾博納ABN-VPS-001是一款集成高真空與寬溫區(qū)控制能力的高精度電子測量探針臺。該系統(tǒng)專為滿足半導(dǎo)體、材料科學(xué)及微電子機(jī)械系統(tǒng)等領(lǐng)域在變溫環(huán)境下的電學(xué)特性表征需求而設(shè)計，通過精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)與屏蔽設(shè)計，為用戶提供穩(wěn)定、可靠、可重復(fù)的測試平臺。
　　2. 核心系統(tǒng)與技術(shù)參數(shù)
　　2.1 真空腔體系統(tǒng)
　　結(jié)構(gòu)設(shè)計：采用雙層腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計，由外腔體與內(nèi)電磁屏蔽腔體組成。
　　真空性能：系統(tǒng)極限真空度可達(dá) 10?? Pa。高真空環(huán)境旨在消除測試過程中氣體分子的干擾，具體作用包括：
　　在低溫測試階段，有效抑制樣品及探針表面的水汽凝結(jié)現(xiàn)象。
　　在高溫測試階段，防止樣品發(fā)生氧化，保證材料本征屬性的測量。
　　提升溫度控制效率與穩(wěn)定性。
　　2.2 顯微觀測系統(tǒng)
　　顯微鏡：搭載高性能體式金相顯微鏡，具備長工作距離和高分辨率特性，適用于在真空腔體外部對樣品與探針位置進(jìn)行觀測。
　　圖像采集：集成1270萬像素尼康CCD相機(jī)。該相機(jī)用于捕捉高清晰度、高色彩還原度的樣品微觀圖像，輔助操作人員進(jìn)行精確的探針定位，并記錄樣品在測試過程中的形貌變化。
　　2.3 溫度控制系統(tǒng)
　　該系統(tǒng)提供兩種制冷模式及加熱功能，以適應(yīng)不同溫區(qū)的測試需求：
　　制冷方式：
　　熱電制冷：基于帕爾貼效應(yīng)，可實現(xiàn)快速升降溫。適用于對響應(yīng)速度要求較高的小范圍溫度調(diào)節(jié)。
　　*溫區(qū)范圍：-60°C 至 +150°C*
　　液氮制冷：利用液氮蒸發(fā)相變吸熱原理，用于實現(xiàn)深低溫環(huán)境。
　　*溫區(qū)范圍：-196°C 至 室溫*
　　加熱方式：采用電阻絲或薄膜加熱器作為熱源，支持樣品臺升溫。
　　*最高溫度：+300°C 以上*
　　溫度均勻性：通過優(yōu)化導(dǎo)熱介質(zhì)（如填充低氣壓氮?dú)饣蚶谜婵窄h(huán)境）確保樣品臺表面溫度分布均勻，減小測試區(qū)域溫差。
　　2.4 探針定位與信號測試系統(tǒng)
　　定位機(jī)構(gòu)：配備高精度機(jī)械移動平臺，支持X、Y、Z三軸移動，移動精度達(dá)微米級。
　　樣品固定：采用真空吸附方式固定樣品，確保在變溫及震動環(huán)境下樣品的穩(wěn)定性。
　　探針接口：
　　探針類型：支持配置多種探針，包括直流探針、高頻探針及同軸探針，以滿足不同的測試需求。
　　連接性：探針接口設(shè)計用于連接外部測試設(shè)備，如源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。
　　屏蔽設(shè)計：內(nèi)置電磁屏蔽腔體，旨在降低外部電磁環(huán)境對微電流、高頻信號測量的干擾，提升測試信噪比。
　　3. 典型操作流程
　　準(zhǔn)備階段：清潔樣品臺，將待測樣品通過真空吸附或夾具固定。根據(jù)測試需求選擇并安裝相應(yīng)類型的探針，調(diào)整探針臂高度。通過溫控器設(shè)定目標(biāo)溫度曲線。
　　環(huán)境建立：啟動真空系統(tǒng)，使腔體達(dá)到預(yù)定真空度。開啟制冷系統(tǒng)（液氮模式需連接外部杜瓦罐）或加熱系統(tǒng)，監(jiān)控樣品臺實際溫度，等待溫度穩(wěn)定在設(shè)定值。
　　定位與測試：通過顯微鏡觀察和XYZ微調(diào)機(jī)構(gòu)，將探針針尖精確移動至樣品的待測電極（Pad）上，確保形成良好的電接觸。啟動外部測試儀器（如Keysight B1500A），進(jìn)行所需的電學(xué)測量（如I-V曲線、C-V特性、射頻參數(shù)等）并記錄數(shù)據(jù)。
　　結(jié)束與恢復(fù)：測試完畢后，先將溫度控制系統(tǒng)設(shè)定回室溫，防止直接關(guān)閉導(dǎo)致結(jié)霜。待溫度恢復(fù)至室溫后，依次關(guān)閉測試儀器、溫度控制器、真空泵等系統(tǒng)電源。
　　4. 維護(hù)與校準(zhǔn)
　　為確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行，建議執(zhí)行以下維護(hù)規(guī)程：
　　日常清潔：定期使用無塵布蘸取異丙醇清潔樣品臺和探針針尖，防止污染物積累。
　　探針檢查：周期性檢查探針針尖磨損情況，必要時進(jìn)行更換或重新研磨。
　　氣路與真空維護(hù)：檢查液氮管路的密封性，防止泄漏；定期更換真空泵油，檢查真空吸附能力。
　　溫度校準(zhǔn)：定期使用標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器對樣品臺的實際溫度進(jìn)行多點(diǎn)校驗，確?？販鼐取?/div>
　　機(jī)械校準(zhǔn)：使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片校正顯微鏡的成像精度與移動平臺的定位精度。
　　電氣檢查：定期檢查設(shè)備接地狀況，確保靜電防護(hù)有效；檢查屏蔽箱體的連接，保證電磁屏蔽效能。

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