MiniLab 090 PVD物理氣相沉積系統(tǒng)兼容手套箱，適用于直徑達(dá)11英寸的亞態(tài)的環(huán)境敏感應(yīng)用。高腔室非常適合高效蒸發(fā)，但磁控管濺射也可用。

手套箱兼容大氣敏感應(yīng)用，適用于直徑達(dá)11英寸的亞態(tài)。高腔室非常適合高效蒸發(fā)，但磁控管濺射也可用。 

MiniLab 090 PVD物理氣相沉積系統(tǒng)是用于金屬、介電體和/或有機(jī)物沉積的落地式PVD工具。所有系統(tǒng)均包含一個(gè)帶有前后門的不銹鋼箱體，便于手套箱集成（允許通過手套箱和外部維修進(jìn)入）。

該腔室具有較高的展弦比，適合通過蒸發(fā)技術(shù)實(shí)現(xiàn)高均勻涂層的長(zhǎng)工作距離，但系統(tǒng)也可以配備磁控管濺射。標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵送系統(tǒng)，適用于高真空基壓10-7毫巴×。具體配置極其靈活，取決于客戶預(yù)算和應(yīng)用。配置范圍從手動(dòng)作的熱蒸發(fā)系統(tǒng)到具備全自動(dòng)過程控制的多技術(shù)工具。

主要特征

模塊化設(shè)計(jì)         

用于手套箱內(nèi)裝載的前滑門

后門用于維修通道

渦輪分子或低溫泵送系統(tǒng)           

基礎(chǔ)壓力<5×10-7毫巴               

金屬、介電體與有機(jī)物沉積 

直徑可達(dá)11英寸的基材          

觸摸屏HMI/PC用于系統(tǒng)控制

配備便于維護(hù)的設(shè)備

全面的安全功能與聯(lián)鎖裝置

無(wú)塵室兼容