Excel Precision  雙頻氦氖激光干涉儀器 Excel Precision  雙頻氦氖激光干涉儀器

1. 產(chǎn)品定位與核心價(jià)值

2. 核心技術(shù)與產(chǎn)品特點(diǎn)

?? 塞曼效應(yīng)雙頻技術(shù)，超高穩(wěn)定性

• 塞曼效應(yīng)原理：通過在激光管施加縱向磁場，使氖原子能級(jí)分裂為兩個(gè)頻率對稱分布的能級(jí)，實(shí)現(xiàn)雙頻振蕩，頻率差與磁場強(qiáng)度成正比，激光頻率穩(wěn)定性，測量精度與重復(fù)性行業(yè)。

• 納米級(jí)分辨率：最小讀取分辨率達(dá) 0.3 納米，可滿足半導(dǎo)體、精密加工等領(lǐng)域的超高精度位移測量需求。

? 高速測量與多軸同步

• 高速測量能力：憑借高分頻頻率，測量速度可達(dá) 1.0m/s（取決于分辨率），適配高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的實(shí)時(shí)測量需求。

• 多軸擴(kuò)展支持：單臺(tái)激光頭可支持最多 6 軸同步測量（搭配 6 個(gè)干涉儀、6 個(gè)接收器），大幅降低多軸設(shè)備的系統(tǒng)成本。

?? 全場景兼容與定制化

• 系統(tǒng)兼容性：與所有 Excel 光學(xué)產(chǎn)品兼容，可無縫接入客戶現(xiàn)有測量系統(tǒng)，無需額外改造。

• 定制化服務(wù)：支持根據(jù)客戶需求定制系統(tǒng)配置，適配不同行業(yè)的特殊應(yīng)用場景。

?? 工業(yè)級(jí)可靠性

• 全球裝機(jī)量超 5000 臺(tái)，經(jīng)過數(shù)十年市場驗(yàn)證，性能穩(wěn)定可靠，可在工業(yè)現(xiàn)場長期穩(wěn)定運(yùn)行。

3. 核心應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓 / FPD 步進(jìn)機(jī)、電子束設(shè)備、IC 檢測設(shè)備的位移測量與定位；

• 精密加工行業(yè)：精密測量機(jī)、超精密加工機(jī)床的精度校準(zhǔn)與位移控制；

• 光學(xué)檢測領(lǐng)域：光學(xué)干涉儀、光學(xué)硬件的研發(fā)與檢測；

• 其他領(lǐng)域：需要超高精度位移測量的科研與工業(yè)場景。

4. 產(chǎn)品亮點(diǎn)

• 美國 Excel Precision 原廠技術(shù)：位移測量領(lǐng)域的級(jí)設(shè)備，全球裝機(jī)量超 5000 臺(tái)；

• 塞曼效應(yīng)雙頻技術(shù)：超高頻率穩(wěn)定性，測量精度與重復(fù)性行業(yè)；

• 納米級(jí)分辨率：0.3 納米最小讀取分辨率，滿足半導(dǎo)體、精密加工的超高精度需求；

• 高速多軸測量：1.0m/s 測量速度，支持最多 6 軸同步測量，系統(tǒng)集成成本低；

• 全場景兼容與定制化：與 Excel 光學(xué)產(chǎn)品無縫兼容，支持客戶定制化系統(tǒng)配置。