CRYO-U10HSP 日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備
| 參考價 | ¥ 1777 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳秋山工業(yè)設備有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 CRYO-U10HSP
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2026/4/30 13:11:52
- 訪問次數(shù) 75
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| 應用領域 | 綜合 |
|---|
日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備 日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備
產(chǎn)品概述
CRYO-U10HSP 是 ULVAC 推出的低溫高真空泵,利用低溫冷凝原理捕獲氣體分子,實現(xiàn)高真空環(huán)境的構建,廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、分析儀器等高真空工藝場景。
核心特點
高抽氣性能:對水、氫、氬等多種氣體具備高效抽氣能力,抽速分別達 6900L/s、3600L/s、2000L/s,可快速建立高真空環(huán)境。
高極限真空能力:可實現(xiàn) 10??Pa(10??Torr)以下的極限真空,滿足對真空度要求嚴苛的工藝需求。
穩(wěn)定可靠的運行設計:配備 C15T 壓縮機單元,采用成熟的低溫泵技術,可長時間穩(wěn)定運行,保障工藝過程的連續(xù)性。
緊湊化結構設計:設備尺寸適配標準法蘭接口,進氣口采用 UVG-250 法蘭,便于與真空腔體集成安裝。
核心參數(shù)
表格
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號 | CRYO-U10HSP |
| 抽氣速度(20℃) | 氮:2400L/s;氫:3600L/s;氬:2000L/s;水:6900L/s |
| 極限真空 | 10??Pa(10??Torr) |
| 最大流量(氬氣) | 1.30×103 Pa·L/s(9.8 Torr·L/s) |
| 抽氣容量 | 氬氣:2.0×10? Pa?L;氫氣:1.2×10? Pa?L |
| 冷卻下降時間 | 120/110min(50/60Hz) |
| 進氣口法蘭 | UVG-250, 10" ANSI |
| 壓縮機單元 | C15T |
| 設備重量 | 36.0kg |
應用場景
真空鍍膜設備的高真空系統(tǒng)配套
半導體制造工藝中的真空環(huán)境構建
表面分析儀器的真空腔體抽氣
科研實驗中的高真空環(huán)境制備



采購中心
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