PIONEER 電子束光刻系統(tǒng)是一款集成了電子束光刻（EBL）和掃描電子顯微鏡（SEM）功能的創(chuàng)新性儀器，專為高校和科研機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。它采用先進(jìn)的熱場(chǎng)發(fā)射技術(shù)、多種檢測(cè)器以及高精度激光干涉儀控制臺(tái)，提供“寫入與觀察”配置，具備模塊化設(shè)計(jì)和高性價(jià)比的特點(diǎn)。該系統(tǒng)適用于需要進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)制造及分析的用戶，尤其適合材料學(xué)和生命科學(xué)研究領(lǐng)域。

PIONEER 電子束光刻系統(tǒng)主要特性                                       

?基于 Gemini 技術(shù)的超高分辨電子光學(xué)鏡筒                      

?電子束光刻實(shí)現(xiàn)個(gè)位數(shù)納米級(jí)分辨率                                            

?超高精度激光干涉儀載臺(tái)（行程可選 2 英寸、4 英寸或 6 英寸）

?適配掃描電鏡成像、計(jì)量與分析的多種探測(cè)器                      

?豐富多樣的納米加工工藝選項(xiàng)                                      

?RAITH Nanosuite 系統(tǒng)控制軟件                          

?具備自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)亮度及自動(dòng)對(duì)比度功能