微米級(jí)懸浮微?？梢暬瘷z測(cè)系統(tǒng)的核心在于利用顆粒物對(duì)特定光場(chǎng)的散射效應(yīng)，并結(jié)合高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）成像技術(shù)。

●高強(qiáng)度非激光散射光源技術(shù)

不同于存在視網(wǎng)膜損傷風(fēng)險(xiǎn)的高功率 4 類（Class 4）激光，本系統(tǒng)采用了經(jīng)過(guò)精密光路設(shè)計(jì)的高強(qiáng)度、指向性面光源。該光源在工作區(qū)形成一個(gè)具有對(duì)比度的均勻光幕（Light Curtain）。當(dāng)微粒經(jīng)過(guò)該光幕時(shí)，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的米氏散射（Mie Scattering）光信號(hào)。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)： 安全性高，無(wú)需特殊護(hù)目鏡；光場(chǎng)覆蓋面積大，適合大范圍空間排查。

●亞微米級(jí)顆粒捕獲成像算法

系統(tǒng)配備了高靈敏度圖像傳感器和專用的深度圖像增強(qiáng)處理器。核心算法能實(shí)時(shí)從復(fù)雜的背景噪聲中提取微弱的散射光信號(hào)，并對(duì) 0.1um-100um的顆粒進(jìn)行動(dòng)態(tài)增強(qiáng)和放大成像。

模式切換： 系統(tǒng)提供“標(biāo)準(zhǔn)模式”、“增強(qiáng)模式”和“軌跡追蹤模式”等多種視覺(jué)模式，滿足不同靈敏度和動(dòng)態(tài)范圍的需求。

●小型化、輕量化探頭設(shè)計(jì)

為了適應(yīng)現(xiàn)代化精密加工裝置（如晶圓傳輸盒 FOUP、EFEM、機(jī)械臂關(guān)節(jié)）內(nèi)部極其局促的空間，系統(tǒng)的核心探測(cè)和照射模組采用了的小型化設(shè)計(jì)。

物理特性： 探頭體積小巧，重量輕，支持手持排查或集成在機(jī)械手臂上進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢測(cè)。

●微粒目視化：將 0.1um的懸浮顆粒物轉(zhuǎn)化為人眼可見(jiàn)的實(shí)時(shí)圖像。

●污染溯源：直觀展示顆粒運(yùn)動(dòng)軌跡，快速鎖定發(fā)塵源頭（如摩擦、漏氣、靜電吸附等）。

●氣流場(chǎng)驗(yàn)證：驗(yàn)證潔凈室層流（Laminar Flow）的穩(wěn)定性，排查由于設(shè)備阻擋形成的渦流積塵區(qū)。

●數(shù)字存檔與分析：支持錄制高動(dòng)態(tài)視頻，用于后續(xù)的技術(shù)分析、SOP 培訓(xùn)或質(zhì)量事故溯源。

微米級(jí)懸浮微?？梢暬瘷z測(cè)系統(tǒng)為您的研發(fā)和實(shí)驗(yàn)保駕護(hù)航,如有需要可聯(lián)系我們.