化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>離子注入設(shè)備>離子注入機(jī)>APKF?650B KASUGA 春日電機(jī)APKF系列高壓直流離子風(fēng)棒
APKF?650B KASUGA 春日電機(jī)APKF系列高壓直流離子風(fēng)棒
- 公司名稱(chēng) 玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司
- 品牌 KASUGA/日本春日
- 型號(hào) APKF?650B
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2026/6/2 10:51:25
- 訪問(wèn)次數(shù) 12
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KASUGA 春日電機(jī)APKF系列高壓直流離子風(fēng)棒
KASUGA 春日電機(jī)APKF系列高壓直流離子風(fēng)棒
一、核心定位
放電方式:內(nèi)置式直流 DC 正負(fù)離子放電
* 大特點(diǎn):棒體自帶高壓發(fā)生器,無(wú)需外接 KD?309 電源,直接接 DC24V 即可工作
適用:晶圓設(shè)備、探針臺(tái)、固晶機(jī)、切割機(jī)、窄空間模組、自動(dòng)化設(shè)備內(nèi)部安裝
放電方式:內(nèi)置式直流 DC 正負(fù)離子放電
* 大特點(diǎn):棒體自帶高壓發(fā)生器,無(wú)需外接 KD?309 電源,直接接 DC24V 即可工作
適用:晶圓設(shè)備、探針臺(tái)、固晶機(jī)、切割機(jī)、窄空間模組、自動(dòng)化設(shè)備內(nèi)部安裝
二、全系列完整型號(hào)
標(biāo)準(zhǔn)無(wú)氣型(基礎(chǔ)除靜電)
APKF?450B、APKF?550B、APKF?650B
吹氣型(除靜電 + 除塵,半導(dǎo)體* 常用)
APKF?450BH、APKF?550BH、APKF?650BH
帶清潔提醒型(**自動(dòng)化產(chǎn)線)
APKF?450H、APKF?550H、APKF?650H長(zhǎng)度固定:450/550/650mm,是春日緊湊型主力尺寸
長(zhǎng)度固定:450/550/650mm,是春日緊湊型主力尺寸
三、關(guān)鍵電氣參數(shù)
供電:DC24V 工業(yè)電源
離子平衡:≤±10V
除電速度:10kV→100V ≤1s @150mm
臭氧量:極低,無(wú)塵室可用
工作距離:50–250mm,推薦 100–200mm
放電針:鎢合金,耐磨抗氧化
防護(hù):防塵結(jié)構(gòu),可擦拭清潔
供電:DC24V 工業(yè)電源
離子平衡:≤±10V
除電速度:10kV→100V ≤1s @150mm
臭氧量:極低,無(wú)塵室可用
工作距離:50–250mm,推薦 100–200mm
放電針:鎢合金,耐磨抗氧化
防護(hù):防塵結(jié)構(gòu),可擦拭清潔
四、結(jié)構(gòu) & 優(yōu)勢(shì)(對(duì)比 KDB/CKDB/KDB?SI)
一體式內(nèi)置高壓,省去高壓電源盒、高壓線纜,布線簡(jiǎn)單、安 全
體積更薄、更窄,適合機(jī)臺(tái)內(nèi)部、設(shè)備狹小空間
BH 型號(hào)帶吹氣功能,邊吹邊除靜電,解決粉塵、晶圓顆粒污染
H 型號(hào)帶針污染檢測(cè)、清潔提醒信號(hào),可接入 PLC
相比 KDB 系列,安裝成本更低、空間占用更小
一體式內(nèi)置高壓,省去高壓電源盒、高壓線纜,布線簡(jiǎn)單、安 全
體積更薄、更窄,適合機(jī)臺(tái)內(nèi)部、設(shè)備狹小空間
BH 型號(hào)帶吹氣功能,邊吹邊除靜電,解決粉塵、晶圓顆粒污染
H 型號(hào)帶針污染檢測(cè)、清潔提醒信號(hào),可接入 PLC
相比 KDB 系列,安裝成本更低、空間占用更小
五、與 KDB 系列選型區(qū)別
KDB/CKDB/KDB?SI:外置高壓電源,長(zhǎng)尺寸可選(400–2000mm),適合流水線、寬幅產(chǎn)線
APKF 系列:內(nèi)置高壓,尺寸固定偏短,適合設(shè)備內(nèi)嵌、工位定點(diǎn)、緊湊型機(jī)臺(tái)
KDB/CKDB/KDB?SI:外置高壓電源,長(zhǎng)尺寸可選(400–2000mm),適合流水線、寬幅產(chǎn)線
APKF 系列:內(nèi)置高壓,尺寸固定偏短,適合設(shè)備內(nèi)嵌、工位定點(diǎn)、緊湊型機(jī)臺(tái)
六、半導(dǎo)體典型應(yīng)用
晶圓輸送軌道、探針臺(tái)、固晶機(jī)、切割劃片設(shè)備、光學(xué)檢測(cè)工位、小型模組、載具清潔工位
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