珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司
基于熱重-紅外-氣質聯用的光刻膠樣品成分分析
檢測樣品:光刻膠樣品
檢測項目:成分分析
方案概述:光刻膠是目前半導體行業(yè)重要的功能性材料。光刻膠可以根據其主要單體的類型進行分類,對單體的識別可以快速判定其類型。除單體外,影響其應用性質的成分還包括溶劑、引發(fā)劑、光感劑等,通常來說這些成分會隨膠乳的應用場景變化而有所調整。珀金埃爾默公司的熱重-紅外-氣質聯用三聯機,可以針對這類稍復雜樣品進行準確的成分識別,從而評估其光化學特性及應用場景,并針對一些逆向相關的工程應用提供數據性的支持。
實驗方案
●測試樣品:液體光刻膠樣品1份
●測試儀器:TGA8000-Frontier-Clarus690/SQ8T,聯用模塊為TL9000型號。全部儀器及聯用模塊來自于珀金埃爾默;
●測試條件:
樣品稱量方式及用量:使用10μL移液槍移取粘稠液體樣品,每次測試共移取3次,置于陶瓷增堝中。由于樣品粘度較大,實際取樣量小于30μL,樣品實際質量由熱重確定。
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