當(dāng)前位置:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司>>3D形貌儀/白光干涉輪廓儀>>彩色共聚焦輪廓儀>> QuickPRO-CUBE非接觸式三維形貌儀
三維形貌儀通過(guò)集成一對(duì)單點(diǎn),非接觸式,納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速,納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng),QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前,后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形,用于托盤(pán)中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運(yùn)動(dòng)架構(gòu)允許測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)和更復(fù)雜的非軸對(duì)稱(chēng)或自由形狀,最大測(cè)量直徑為50mm(高達(dá)75mm外徑)。根據(jù)鏡頭直徑和3D點(diǎn)云采樣密度的不同,每個(gè)鏡頭每個(gè)表面的總測(cè)量時(shí)間從30秒到240秒不等。

QuickPRO-CUBE™非接觸式三維形貌儀采用彩色共聚焦納米級(jí)測(cè)量技術(shù),全程非接觸無(wú)損檢測(cè),可避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)量對(duì)精密光學(xué)表面造成的劃傷風(fēng)險(xiǎn),適配高價(jià)值光學(xué)元件的高精度表征需求。設(shè)備搭載Invar 穩(wěn)計(jì)量框架,具備優(yōu)異的抗震動(dòng)性與尺寸穩(wěn)定性,可在普通工業(yè)環(huán)境穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)納米級(jí)測(cè)量,無(wú)需嚴(yán)苛恒溫實(shí)驗(yàn)室,大幅降低使用門(mén)檻與場(chǎng)地要求。
雙傳感器同步采集前表面、后表面與基準(zhǔn)面三維點(diǎn)云,無(wú)需翻轉(zhuǎn)樣品即可完成雙面全參數(shù)檢測(cè),配合高速光柵 / 螺旋掃描,單鏡頭測(cè)量?jī)H需 30–240 秒,兼顧測(cè)量精度與檢測(cè)效率。設(shè)備可精準(zhǔn)輸出頂點(diǎn)偏移、楔角、中心厚度、總厚度變化(TTV)、面形誤差等核心幾何參數(shù),全面滿足球面 / 非球面 / 自由曲面鏡片、微透鏡陣列、光通信元件、半導(dǎo)體光學(xué)組件的研發(fā)與質(zhì)控需求。
搭配 QuickPRO™儀器控制軟件與 CalcuSurf-3D™數(shù)據(jù)分析軟件,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定心、一鍵測(cè)量、三維數(shù)據(jù)可視化、檢測(cè)報(bào)表導(dǎo)出,操作簡(jiǎn)潔高效。廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)制造、光通信、半導(dǎo)體、醫(yī)療光學(xué)、航空航天光學(xué)及高??蒲性核?,為光學(xué)元件的制程優(yōu)化、品質(zhì)管控、良率提升提供核心數(shù)據(jù)支撐,是光學(xué)領(lǐng)域三維形貌與幾何精度檢測(cè)的設(shè)備。



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