2026年5月15日，由求是緣半導(dǎo)體聯(lián)盟主辦，合肥經(jīng)開區(qū)投資促進(jìn)局集成電路中心、氣體圈子協(xié)辦，合肥孚烜自動(dòng)化科技有限公司與梅特勒托利多科技（中國）有限公司共同承辦的“半導(dǎo)體特氣與濕化學(xué)品及其可靠供給系統(tǒng)技術(shù)論壇"在安徽省合肥圓滿舉行。

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司技術(shù)總監(jiān)李驥首先帶來了題為《電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)介紹》的專題報(bào)告。結(jié)合國家標(biāo)準(zhǔn)GB50646-2020《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》等規(guī)范，闡述了化學(xué)品系統(tǒng)在工藝布局、設(shè)備選型及管道連接等方面的關(guān)鍵技術(shù)要求。

中電科工總工、中電四公司高級專家章富鴻以《特氣系統(tǒng)安全性各維度剖析》為題進(jìn)行了分享。重點(diǎn)介紹了雙套管配置方式、泄漏偵測器的選型原則，并展望了通過智慧倉儲、自動(dòng)傳輸及鋼瓶自動(dòng)更換實(shí)現(xiàn)全流程無人化操作的未來方向。

CI semi的中國區(qū)總監(jiān)許剛帶來了《半導(dǎo)體化學(xué)品濃度分析》的報(bào)告，分享了半導(dǎo)體制造過程中化學(xué)品濃度分析的關(guān)鍵技術(shù)與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，展示了在線監(jiān)測技術(shù)對提升工藝穩(wěn)定性的支撐價(jià)值。

圖為許剛《半導(dǎo)體化學(xué)品濃度分析》的專題報(bào)告

合肥孚烜自動(dòng)化科技有限公司董事長趙國飛首先發(fā)表了題為《研磨液供給設(shè)備的技術(shù)發(fā)展與挑戰(zhàn)》的演講，分享了研磨液供給設(shè)備在半導(dǎo)體CMP制程中的技術(shù)演進(jìn)及當(dāng)前面臨的工程挑戰(zhàn)。

圖為趙國飛《研磨液供給設(shè)備的技術(shù)發(fā)展與挑戰(zhàn)》的專題報(bào)告

梅特勒托利多科技（中國）有限公司專家黃子龍以《分析儀器及稱重設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)廠務(wù)供給中應(yīng)用》為題，介紹了半導(dǎo)體在線濃度計(jì)方案以及廠務(wù)化學(xué)品供給系統(tǒng)的智能稱重解決方案，可實(shí)現(xiàn)化學(xué)品的高精度配比、可靠輸送與全流程可控。

圖為黃子龍《分析儀器及稱重設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)廠務(wù)供給中應(yīng)用》的專題報(bào)告

氟微（上海）新材料有限公司副總經(jīng)理張鋒發(fā)表了《管閥件在研磨液輸送系統(tǒng)中的應(yīng)用技術(shù)》的演講。詳細(xì)闡述了PFA管閥件在CMP研磨液輸送系統(tǒng)中需同時(shí)滿足“超高純化學(xué)品"與“含顆粒磨蝕性漿料"雙重嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的核心技術(shù)要求。

圖為張鋒《管閥件在研磨液輸送系統(tǒng)中的應(yīng)用技術(shù)》的專題報(bào)告

鎧愛分析儀器（上海）有限公司總經(jīng)理劉安東帶來了《半導(dǎo)體氣體純度分析》的報(bào)告，介紹了高純電子特氣在ppm至ppt級別雜質(zhì)檢測中的技術(shù)挑戰(zhàn)與解決方案，展示了痕量分析在半導(dǎo)體氣體供應(yīng)中的關(guān)鍵作用。

圖為劉安東《半導(dǎo)體氣體純度分析》的專題報(bào)告

杭州科百特過濾器材有限公司專家王耀龍以《高純PVDF國產(chǎn)化解決方案》為題進(jìn)行演講。他指出，國內(nèi)超純PVDF原料和管道長期依賴進(jìn)口。科百特聯(lián)合國內(nèi)原料廠商，對普通PVDF生產(chǎn)線進(jìn)行專項(xiàng)潔凈改造，實(shí)現(xiàn)高純PVDF原料自主化生產(chǎn)，并逐一攻克了離子析出、管道發(fā)黃及焊縫變形等工藝難題。目前科百特PVDF管道已在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用超過10萬米。

圖為王耀龍《高純PVDF國產(chǎn)化解決方案》的專題報(bào)告

默克化工技術(shù)（上海）有限公司專家丁曉棟以《超純水在半導(dǎo)體材料檢測中的應(yīng)用》為題，聚焦痕量元素分析中超純水的選型與使用規(guī)范。他詳細(xì)介紹了EDI模塊、專用除硼柱等技術(shù)手段對于有效去除水中硼、硅等關(guān)鍵雜質(zhì)的作用。

圖為丁曉棟《超純水在半導(dǎo)體材料檢測中的應(yīng)用》的專題報(bào)告

本次論壇的成功舉辦，為半導(dǎo)體特種氣體與濕化學(xué)品領(lǐng)域的產(chǎn)學(xué)研用各方搭建了高效的交流平臺，強(qiáng)化了產(chǎn)業(yè)鏈配套韌性與技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的行業(yè)共識，將進(jìn)一步推動(dòng)我國半導(dǎo)體支撐材料的自主創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

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