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名稱 CT 6002
應(yīng)用 高精度單件零件生產(chǎn)檢測校準和監(jiān)測基準件
測量桿驅(qū)動 測量桿通過獨立的連接器與機床運動部件相連
測量標準 Zerodur(r)玻璃陶瓷基體上的DIADUR相位光柵柵距4
系統(tǒng)精度 ± 0.1 µm參考點 上止點下約1.7 mm處
測量范圍 60 mm
要求的移動力 0.1 N至0.6 N（取決于工作姿態(tài)）
允許的徑向力 ≤ 0.5 N
工作姿態(tài) 任意
振動 55至2000 Hz ≤ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)
沖擊（11 ms） ≤ 1000 m/s² (IEC 60 068-2-27)
工作溫度 10至40 °C, 參考溫度 20 °C
固定 端面
重量（不帶電纜） 640 g
防護等級 IEC 60529 IP 50
增量信號 11 µAPP
信號周期 2 µm
推薦測量步距 0.01 µm/0.005
儀器包括高精度光柵裝置、密珠導(dǎo)軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等。
高度計采用高精度光柵作為測量基準，選用玻璃基體的增量式光柵尺，所以測量支持大測量范圍，對震動和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。
增量光柵尺的掃描方法為光電掃描，因此無機械接觸也無磨損。電子設(shè)備對輸出信號進行細分至納米級的極小測量步距，從而確保一個信號周期內(nèi)微小位置誤差。
HEIDENHAIN長度計技術(shù)資料