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四探針測試儀使用說明
閱讀：1319 發(fā)布時(shí)間：2022-11-2
四探針測試儀使用說明
四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。
儀器主要技術(shù)指標(biāo)：
1． 范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴(kuò)展至105Ω—cm，
分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω
2． 可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm
3． 測量方式：軸向、斷面均可（手動(dòng)測試架）
4． 數(shù)字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測量精度 0.2mV檔±（0.3%讀數(shù)+8字）
2 mV檔以上±（0.3%讀數(shù)+2字）
(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
20mV檔以上>108Ω
5． 恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給
（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
（3）電流精度：±（0.3%讀數(shù)+2字）
6．四探針測試探頭 （1）探頭間距：1mm (2)探針機(jī)械游率：±0.3%
(3) 探針：Φ0.5mm