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奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)是氣體熱質(zhì)量流量計(jì)量的低成本解決方案。奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)的設(shè)計(jì)結(jié)合了傳統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)的方便性和準(zhǔn)確性以及以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)的低成本。
每一個(gè)奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)都包含一個(gè)*的直管傳感器，以及用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應(yīng)用的316不銹鋼構(gòu)成的流道元件。
緊湊、獨(dú)立的奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)設(shè)計(jì)用于讀取氣體流速。堅(jiān)固的設(shè)計(jì)加上儀器級(jí)的精度提供了多種多樣且經(jīng)濟(jì)的流量控制方式?？商峁в泄こ虇挝?標(biāo)準(zhǔn))或0至100%顯示讀數(shù)選項(xiàng)的鋁或不銹鋼型號(hào)。
奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)設(shè)計(jì)的機(jī)械布局包括內(nèi)置在傳感器頂部的液晶顯示器讀數(shù)。該讀數(shù)模塊可傾斜超過(guò)90度，以提供jia的閱讀舒適度。它通過(guò)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的模塊插頭連接到傳感器上，也可以很容易地拆卸下來(lái)用于遠(yuǎn)程閱讀安裝。沒(méi)有液晶顯示器讀數(shù)的傳感器是為原始設(shè)備制造商應(yīng)用提供的。
奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)的流量范圍從10 sccm到1000 sL/min N2。氣體通過(guò)1/4”、3/8”、1/2”壓縮配件和3/4”FNPT配件連接?？蛇x配件可用。奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)可用作臺(tái)式裝置或通過(guò)底座上的螺釘安裝。
傳感器電源端口受保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)。
奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)向外界環(huán)境提供大1×10-9毫升/秒的氦氣泄漏完整性。
操作原則
計(jì)量氣體分為兩個(gè)層流路徑，一個(gè)通過(guò)奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)的主流導(dǎo)管，另一個(gè)通過(guò)毛細(xì)管傳感器管。兩個(gè)導(dǎo)管都設(shè)計(jì)成確保層流；因此，它們的流量比率是恒定的。
傳感器管上的兩個(gè)精密溫度傳感繞組被加熱，當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí)，氣體將熱量從上游傳遞到下游繞組。奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)的合成溫差與傳感器繞組電阻的變化成正比。
奧爾堡GFM質(zhì)量流量計(jì)采用惠斯通電橋設(shè)計(jì)，監(jiān)控傳感器繞組上的溫度相關(guān)電阻梯度，該電阻梯度與瞬時(shí)流量成線性比例。產(chǎn)生0至5Vdc和4至20mA的輸出信號(hào)，指示計(jì)量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。
在規(guī)定的限制范圍內(nèi)，流速不受溫度和壓力變化的影響。
