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渦旋式干式真空泵是通過(guò)螺旋定子和轉(zhuǎn)子的聯(lián)合運(yùn)動(dòng)來(lái)排氣的干式真空泵。
用途廣泛,包括真空干燥設(shè)備、理化分析設(shè)備、真空吸附輸送設(shè)備、真空熱處理爐等。
渦旋式干式真空泵由兩個(gè)形狀相同的渦旋體組成,渦旋體的中心稍微偏移,使它們的壁彼此線接觸,從而一側(cè)相對(duì)于另一側(cè)進(jìn)行搖擺運(yùn)動(dòng),其結(jié)構(gòu)是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。 壓縮過(guò)程通常設(shè)計(jì)為發(fā)生兩次或多次,從而產(chǎn)生較低的振動(dòng)和噪音。極限壓力可達(dá)1Pa。

•雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
•可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
•低振動(dòng)低噪音。
•維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。
結(jié)構(gòu)緊湊,排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器(單相用)安全設(shè)計(jì)。。
通過(guò)空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。。
分析設(shè)備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設(shè)備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導(dǎo)體制造工藝

1 | 粉末和生成物吸入會(huì)導(dǎo)致泵損壞。 |
2 | 吸入有害氣體如爆炸性氣體,有毒氣體,腐蝕性氣體,有機(jī)溶劑氣體等,可能會(huì)因氣體本身,爆炸或火災(zāi)而導(dǎo)致泵故障。 |
3 | 三相規(guī)格沒(méi)有電機(jī)保護(hù)功能。 |
DIS-501(Single phase)

DIS-501(Three phase)


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