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磁懸浮型TG-M系列
使用磁懸浮軸承可實現(xiàn)無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護(hù)周期。產(chǎn)品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。
磁懸浮式渦輪分子泵的截面
TG2400M
■任何方向
■緊湊的尺寸
■節(jié)能
■快速啟動和停止
■維修電話
■無振動
■型號無聯(lián)軸器
■自動校準(zhǔn)
■高吞吐量
■轉(zhuǎn)速控制
■串行通信
■NRTL SEMI-S2 CE安全標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設(shè)備
■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)
■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發(fā)
Inlet flange | VG250 ISO-B250 | |
Volume flow rate | N2 (L/s) | 2400 |
N(with protective screen) (L/s) | 2300 | |
H2 (L/s) | 1100 | |
Max. compression ratio | N2 | 1×108 |
H2 | 1.5×103 | |
Base pressure | VG?ISO-B (Pa) | <1×10-6 |
VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |
Max. throughput※1 | N2 (sccm) | 3000 |
Startup time | (min) | 4~5 |
Shutdown time | (min) | 4~5 |
Max. backing pressure | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧500 |
Position | Any orientation | |
Weight (kg) VG?ISO-B | 34 / 42 | |
Controller | TC010MA | |
Special specifications *Contact our sales representative for more information. | -Chemical-use-Thermal insulation TG-MI | |
*1 ： 使用1000L/min的前級真空泵時。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應(yīng)氣體]
某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
