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當(dāng)前位置：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司>>技術(shù)文章>>日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵TG2400F北崎熱賣
TG2400F
■ 任何方向
■ 緊湊尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動(dòng)
■ 快速關(guān)閉并用煤氣排氣
■ 耐久的氣流沖擊結(jié)構(gòu)
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 認(rèn)證安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL / SEMI-S2 / CE
應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)
■ 電子槍排氣，電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理，表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、測試設(shè)備
■ 燈具生產(chǎn)，光學(xué)元件生產(chǎn)
■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研發(fā)
*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。
Model | TG2400F | TG2400F-40 | |
Inlet flange | VG250/ISO-B250 | ||
Volume flow rate | N2 (L/s) | 2400 | |
N(with protective screen) (L/s) | 2300 | ||
H2 (L/s) | 1100 | ||
Max. compression ratio | N2 | 1×108 | |
H2 | 1.4×103 | ||
Base pressure | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
Max. throughput※1※2 | (sccm) | 900 | 1500 |
Startup time | (min) | 5-7 | |
Shutdown time | (min) | 15-18 | |
Max. backing pressure | (Pa/Torr) | 200/1.5 | |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧500 | |
Position | Any orientation | ||
Weight (kg) | Air cooling Water cooling | 45 47 | |
Controller | TC2403 | TC2403-10※3 | |
*1：使用1000升/分鐘的后備真空泵時(shí)。
*2：根據(jù)電源型號不同。
*3 ： TG2400F-40
[環(huán)境溫度使用]
確保達(dá)到壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風(fēng)冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應(yīng)氣體]
一些服務(wù)氣體會腐蝕潤滑脂和內(nèi)部部件。請聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃?xì)忸愋土斜怼?/p>
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溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
