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產(chǎn)品型號YP-250I/YP-150I

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更新時間：2025-12-16 11:46:19瀏覽次數(shù)：199次

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光學(xué)儀表: 照射裝置光學(xué)系統(tǒng) 紫外線黑光燈電源紫外線裝置照度計 LED照明光源裝置光源

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合

Yamada山田光學(xué)玻璃基板劃傷缺陷檢查燈
本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時、最依賴人工的“最終表面"宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類缺陷。
憑借高照度照明，可識別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

詳情介紹

Yamada山田光學(xué)玻璃基板劃傷缺陷檢查燈
Yamada山田光學(xué)玻璃基板劃傷缺陷檢查燈

高亮度鹵素光源裝置

本裝置用于半導(dǎo)體晶圓及液晶基板在制程中最耗時、最依賴人工的“最終表面"宏觀檢查，可快速發(fā)現(xiàn)異物、劃痕、研磨不均、霧斑、滑移等各類缺陷。

主要特點

試樣表面照度 ≥ 400 000 lx
鹵素?zé)羯珳馗?，光斑銳利、照明均勻且穩(wěn)定
采用冷光鏡，熱輻射僅為傳統(tǒng)鋁鏡的 1/3，樣品溫升極小
兩段亮度切換機構(gòu)，一鍵實現(xiàn)高照度/低照度觀察

YP-150I：照射范圍 φ30 mm
YP-250I：照射范圍 φ60 mm（可選軸流風(fēng)扇型或管道風(fēng)扇型）

光學(xué)性能

中心照度：≥ 400 000 lx（照射區(qū) φ60 mm）
可識別粒子：0.2 μm 級（取決于操作者與環(huán)境）
色溫：3 200 K 鹵素?zé)簦@色指數(shù) Ra≈100，缺陷與底色對比度高
冷光鏡 + 二向色濾熱片，紅外輻射量 ≤ 傳統(tǒng)鋁鏡 1/3，樣品溫升 < +2 ℃（30 s 照射）

亮度控制

2 段切換：高照度（HI）/低照度（LO）一鍵切換，無需關(guān)燈換檔
調(diào)光范圍：20 %–100 % 連續(xù)可調(diào)（選配外部調(diào)光器）

機型與散熱

YP-250I/AF：軸流風(fēng)扇型，頂部排熱，適合層流罩內(nèi)單機使用
YP-250I/DF：管道風(fēng)扇型，可外接 ?100 mm 風(fēng)管，將熱排至下技術(shù)夾層，滿足 ISO 5（100 級）以上區(qū)域

典型應(yīng)用

12-300 mm 半導(dǎo)體晶圓：劃痕、霧斑 (Haze)、Slip、研磨痕、CMP 殘留
液晶面板：玻璃基板劃傷、顆粒污染、ITO 成膜缺陷
掩模版、光掩膜：鉻膜缺陷、微粒檢查

高亮度鹵素光源裝置是潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體晶圓表面品質(zhì)管理的工具，憑借高照度照明，可識別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

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