Tekhne計測 MBW 973-SF6  高露點(diǎn)露點(diǎn)儀

Tekhne計測 MBW 973-SF6  高露點(diǎn)露點(diǎn)儀

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 特征

抽查

SF6氣體露點(diǎn)管理

燃?xì)庾儔浩骱腿細(xì)鈹嗦菲?/p>

氣體絕緣開關(guān)設(shè)備

用于半導(dǎo)體和液晶面板的干法刻蝕工藝

SF6氣體回收和循環(huán)利用

主要用途

變壓器/氣體斷路器用SF6純度和露點(diǎn)測量

觀點(diǎn)

環(huán)保型測量儀器

六氟化硫（SF6）氣體是一種溫室氣體，京都議定書已設(shè)定了減排目標(biāo)。據(jù)稱，其單位體積的溫室效應(yīng)約為二氧化碳的23400倍。SF6氣體被用作斷路器、變壓器和半導(dǎo)體工藝中的絕緣氣體，測量其水分含量和純度對于維持其絕緣性能至關(guān)重要。

然而，在日本，目前普遍的做法是將測量的SF6氣體排放到大氣中，或者花費(fèi)一定的成本進(jìn)行回收和分解。而MBW973-SF6技術(shù)可以將測量的SF6氣體直接返回到原設(shè)備中，無需排放到大氣中，從而實(shí)現(xiàn) 。

高精度測量

迄今為止，電容式傳感器因其易用性而被廣泛應(yīng)用。相比之下，MBW973-SF6 采用高精度鏡式傳感器進(jìn)行露點(diǎn)和純度測量，可分別實(shí)現(xiàn) ±0.5°C 和 0.5% 的高精度測量，且響應(yīng)速度快，性能隨時間推移衰減極小。使用該儀器可顯著減輕操作人員的工作量，并使可靠的測量變得輕松便捷。

SO2測量選項(xiàng)

SF6氣體與水分反應(yīng)可凈化HF氣體和SO2氣體。MBW973-SF6可測量濃度范圍為0–100 ppm或0–500 ppm的SO2 。該傳感器采用電化學(xué)池，測量精度可達(dá)滿量程的±2%。

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