SIMCO思美高 91-5635-1600-75 離子發(fā)生器

SIMCO思美高 91-5635-1600-75 離子發(fā)生器

產(chǎn)品信息

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒產(chǎn)品，專為先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝中的靜電消除應(yīng)用以及其他需要控制小于 100nm 的微小顆粒的場所而開發(fā)。

特征

■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁 的應(yīng)用記錄，具有超低顆粒特性，并避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險。

■采用獨特的脈沖調(diào)制 (MP) 方法，高效消除靜電，將離子輸送至目標(biāo)。

■即使在 100 毫米的距離下，也能保持較小的電位波動，并且在電極棒長度方向上的偏差很小，即可實現(xiàn)離子平衡。

■智能控制電路可自動管理離子生成狀態(tài)和離子平衡。

■可更換電極，只需旋轉(zhuǎn) 1/4 圈即可安裝和拆卸，有助于減少維護(hù)工時。

■脈沖調(diào)制(MP) 方法的特點是電位波動極小，簡化了設(shè)置，并且極小的電位波動還能有效地將離子平衡長期維持在管理標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。

■電極棒長度可根據(jù)半導(dǎo)體前端電化學(xué)工作站 (EFEM) 進(jìn)行設(shè)置。

■緊湊型設(shè)計，內(nèi)置 24V 直流驅(qū)動控制器。

■提供全球范圍內(nèi)的高級支持網(wǎng)絡(luò)。

規(guī)格

5635 型 AeroBar MP

輸入電壓24V 直流 +/-10%

輸出電壓最大電壓約為13.5kV pp，可調(diào)

安裝距離100毫米至1000毫米（無需空氣吹掃）

離子發(fā)生法電暈放電法、

脈沖調(diào)制法，調(diào)制頻率1至33 Hz

離子平衡自動平衡調(diào)節(jié)方法

<+/-10V，根據(jù)桿正下方位置的不同，差異 <+/-10V

（距離 600 毫米處）

電極單晶硅電極是可更換的。

吹掃氣體潔凈干燥空氣或氮氣

最大吹掃壓力310千帕

臭氧含量<0.05 ppm（24 小時累計值）

信號輸出報警 I/O 開集電極輸出

尺寸尺寸：高 78 毫米 x 深 34 毫米 x 長度（如下）：

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350

毫米

外部的ABS樹脂

什么是擴(kuò)展 ISO 1 級，10nm？

擴(kuò)展 ISO 1 級，10nm 是 ION Systems 為解決微小顆粒管理問題而制定的獨特潔凈度定義。ISO 14644-1 定義的最小顆粒尺寸為 100nm。擴(kuò)展 ISO 1 級，10nm 使用與 ISO 14644-1 相同的公式計算允許的顆粒計數(shù)，但對于尺寸為 10nm 或更大的顆粒，允許的顆粒計數(shù)為 1200 個/立方米（34 個/立方英尺）。

下載資料

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森  DIC迪愛生   INNODIS 一諾迪思  ARLIN艾阿爾

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)

SURUGA駿、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計、膜厚計、恒流泵、采樣泵、PH計、水分計、地震測試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測儀、接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測儀、應(yīng)變測試儀、拉針儀、水平測試儀等