SIMCO思美高 5225 離子發(fā)生器 

SIMCO思美高 5225 離子發(fā)生器 

 產(chǎn)品信息

5225 型 Aerobar 離子發(fā)生器是一種棒狀離子發(fā)生器，專為半導(dǎo)體和其他應(yīng)用的超潔凈工藝設(shè)備而設(shè)計(jì)。

特征

■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有 的應(yīng)用記錄，具有超低顆粒特性，并避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)。

■采用脈沖直流法，具備寬范圍靜電消除能力

?！鋈珨?shù)字電路控制，實(shí)現(xiàn)更穩(wěn)定的離子生成和長(zhǎng)期離子平衡。

■通過在靜電消除目標(biāo)附近安裝 5200-SR 外部傳感器（可選），可以對(duì)靜電消除目標(biāo)附近的離子平衡進(jìn)行反饋控制，而不是對(duì)離子棒本身進(jìn)行控制（如果未連接 5200-SR，則離子棒內(nèi)置傳感器會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)離子平衡）。

■可設(shè)置適用于半導(dǎo)體前端靜電場(chǎng)效應(yīng)顯微鏡 (EFEM) 的棒長(zhǎng)。

■離子生成輸出、離子生成時(shí)間和報(bào)警閾值等各種參數(shù)均可在寬范圍內(nèi)設(shè)置，從而靈活應(yīng)用于遠(yuǎn)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境。

■只需輸入數(shù)值參數(shù)即可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性，從而實(shí)現(xiàn)快速設(shè)置。

■除了簡(jiǎn)單的報(bào)警 I/O 外，還可以使用免費(fèi)的 DLL 進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，從而有助于了解過程設(shè)備的狀態(tài)。

規(guī)格

5225 型氣動(dòng)桿

輸入電壓由 IM6T 供電，24V 交流電，50/60Hz，1W 典型值。

溝通方式RS485（IM6T 和 5225 之間）

輸出電壓0kV 至約 +/-20kV

輸出格式脈沖直流模式，穩(wěn)態(tài)直流模式（可選）

輸出電流內(nèi)置<15微安電流和電壓限制電路

連接連接器RJ11，4極4芯

離子生成時(shí)間最短 0.1 秒，最長(zhǎng) 10 秒。正負(fù)極可分別設(shè)置。

電極單晶硅電極是可更換的。

臭氧生成量<0.005 ppm（24 小時(shí)累計(jì)測(cè)量值）

清潔度ISO 1級(jí)，0.1微米

尺寸高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 長(zhǎng) 569 毫米 (-22)，721 毫米 (-28)

907毫米（-36），1128毫米（-44），1412毫米（-56），1636毫米（-64），

1918毫米（-76）和2144毫米（-84）

重量-22：1.02公斤，每增加30厘米長(zhǎng)度增加0.17公斤。

外部的ABS樹脂

接口模塊型號(hào) 5200-IM6T

輸入電壓24V 直流 +/-5%，1.5A

溝通方式以太網(wǎng)、RS232C

報(bào)警輸出繼電器觸點(diǎn)（僅限 4.0 及以上版本）

尺寸高74毫米 x 深71毫米 x 長(zhǎng)315毫米

重量2公斤

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SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

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SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

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SURUGA駿、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

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優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)、恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀、接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、應(yīng)變測(cè)試儀、拉針儀、水平測(cè)試儀等