MF5100B系列是一款兼具易用性和高性能的質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器，具有寬廣的流量范圍、優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性以及三種模式的軟啟動(dòng)功能等特性。

OHKURA大倉(cāng) 控制器  紹興

特點(diǎn)

■寬廣的流量范圍

流量范圍從最小5SCCM到最大400SLM，種類(lèi)豐富。

■高可靠性

通過(guò)各回路的集成化和機(jī)械系統(tǒng)的優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了小型化與高可靠性的結(jié)合。

■軟啟動(dòng)功能

本機(jī)內(nèi)置的軟啟動(dòng)功能可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性上升，支持時(shí)間調(diào)節(jié)（最長(zhǎng)70秒），并可在三種模式下運(yùn)行（設(shè)置變更時(shí)、電源開(kāi)啟時(shí)、外部閥門(mén)從關(guān)閉到開(kāi)啟時(shí)）。

■高穩(wěn)定性

溫度穩(wěn)定性為0.05%/℃，泄漏標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)1×10-10Pa·m3/s（He）。

※具體規(guī)格請(qǐng)參閱規(guī)格書(shū)

OHKURA大倉(cāng) 控制器  紹興

定位與用途

正式名稱(chēng)：高性能質(zhì)量流量控制器（High-Performance MFC）

原理：熱式質(zhì)量流量傳感 + 高精度閉環(huán)控制

核心場(chǎng)景：半導(dǎo)體工藝、光伏鍍膜、高純氣體、反應(yīng)釜精密配比、燃料電池、工業(yè)燃燒

配套：需SE5000C供電 / 信號(hào)隔離；與 MF1100B 接口兼容，可直接替換升級(jí)

核心性能（關(guān)鍵指標(biāo)）

溫度穩(wěn)定性：±0.05% FS/℃（極低溫漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定）

泄漏率：≤1×10?1? Pa·m3/s（He）（超高真空 / 高純氣體適配）

響應(yīng)時(shí)間：≤3 秒收斂到設(shè)定值 ±2% FS 內(nèi)

耐壓 / 工作壓力：1.5 MPa（耐壓）/1.0 MPa（最大工作）

軟啟動(dòng)：3 種模式 + 最長(zhǎng) 70 秒可調(diào)（防沖擊、保護(hù)管路 / 閥門(mén)）