日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵與風(fēng)囊泵廣泛應(yīng)用于對(duì)流體控制精度、耐腐蝕性及潔凈度要求的工業(yè)領(lǐng)域，尤其在半導(dǎo)體制造中表現(xiàn)突出。其核心產(chǎn)品采用全氟塑料材質(zhì)與氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)無金屬污染、低脈動(dòng)輸送，適用于高純化學(xué)品供給、清洗工藝與CMP制程等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵/氣動(dòng)風(fēng)囊泵

日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵/氣動(dòng)風(fēng)囊泵

一、主要適用行業(yè)

1. ?半導(dǎo)體制造?

• 用于化學(xué)液體供藥、單片清洗、光刻膠輸送及CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）工藝。

• FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品，確保晶圓表面潔凈度達(dá)ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)。

• FLP系列低脈動(dòng)設(shè)計(jì)，適用于對(duì)流量穩(wěn)定性要求的單晶圓處理過程。

2. ?醫(yī)療與化學(xué)分析?

• 氣動(dòng)隔膜泵用于高純?cè)噭┹斔停苊饨徊嫖廴尽?/p>

• KB系列風(fēng)囊泵適用于自動(dòng)分析儀器中的微量藥液添加。

3. ?新能源產(chǎn)業(yè)?

• 支持燃料電池、二次電池（如鋰電池）和太陽能電池生產(chǎn)中的化學(xué)品循環(huán)與供給系統(tǒng)。

4. ?PCB（印刷電路板）與電鍍行業(yè)?

• 用于酸堿液輸送、表面處理液循環(huán)，MDM系列PFA型號(hào)可將污染物析出降至。

5. ?食品加工與制藥?

• KB/KBA/KBR系列結(jié)構(gòu)緊湊、無泄漏，符合衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)，適用于食品機(jī)械與藥品配液系統(tǒng)。

6. ?環(huán)保與水處理?

• TC-X系列氣動(dòng)隔膜泵用于工業(yè)污水、市政污水處理，具備耐酸堿、耐腐蝕特性。

二、核心產(chǎn)品系列介紹

1. ?半導(dǎo)體氣動(dòng)風(fēng)囊泵（FS系列）?

• ?代表型號(hào)?：FS-80NT、FS-100NF、

• FS-15HT、FS-30HT、FS-60HT、FS-100H

• ?特點(diǎn)?：

• 吐出量達(dá)100L/min，適用于大流量高壓力場(chǎng)景。

  過流部件全采用PTFE/PFA氟樹脂材料，杜絕金屬離子污染。

  內(nèi)置接近傳感器與漏液檢測(cè)功能，支持自動(dòng)化控制。

  工作溫度范圍5~60°C，氣源壓力0.7MPa。

2. ?低脈動(dòng)氣動(dòng)風(fēng)囊泵（FLP系列）?

• ?代表型號(hào)?：FLP-60W、FLP-75W

• ?優(yōu)勢(shì)?：

• 脈動(dòng)范圍低至0.06MPa，無需外接阻尼器，節(jié)省空間與成本。

  可輸送高粘度光刻膠，適用于LED、MEMS等精密工藝。

  耐溫達(dá)180°C，適應(yīng)高溫工況下的穩(wěn)定運(yùn)行。

3. ?經(jīng)濟(jì)型風(fēng)囊泵（KB系列）?

• ?代表型號(hào)?：KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z

• ?應(yīng)用場(chǎng)景?：

• 小流量、低壓力場(chǎng)合，如照片沖洗、自動(dòng)分析儀、食品加工設(shè)備中的定量加藥。

  結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維護(hù)方便，適合OEM設(shè)備配套使用。

4. ?氣動(dòng)隔膜泵（TC-X系列）?

• ?特點(diǎn)?：

• 流量范圍廣（8~950L/min），適用于低粘度至高粘度液體輸送。

  IP66防護(hù)等級(jí)，防爆設(shè)計(jì)，適用于易燃易爆環(huán)境。

  全塑料泵體，耐酸堿腐蝕，適合工業(yè)污水處理。

5. ?高精度半導(dǎo)體專用泵（PDS-H115系列）?

• ?性能參數(shù)?：

• 吐出精度達(dá)12mL/shot，支持高粘度液體（10,000mPa·s）。

  高壓輸出（1.0MPa），保障供藥系統(tǒng)穩(wěn)定性。

  廣泛用于光刻膠、顯影液等高價(jià)值化學(xué)品的精準(zhǔn)輸送。

CFD系列

全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL

精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

工作原理

壓縮空氣驅(qū)動(dòng)波紋管往復(fù)運(yùn)動(dòng)，兩端接近開關(guān)控制行程；氣液隔離，無軸封泄漏風(fēng)險(xiǎn)；通過調(diào)節(jié)氣壓 / 沖程頻率實(shí)現(xiàn)精密流量控制。

日本IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵典型應(yīng)用場(chǎng)景

晶圓清洗（批量 / 單片）、SPM/H?PO?蝕刻液輸送、CMP 研磨液循環(huán) / 補(bǔ)給；

高純度化學(xué)品供液系統(tǒng)、混液循環(huán)、廢液處理；

禁止金屬污染、高溫強(qiáng)腐蝕的半導(dǎo)體濕法工藝段。