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探針臺概述
探針臺是能夠?qū)⑻结樄潭ㄔ谌我庵付ㄎ恢玫难b置，也常被稱作探針測試臺。該設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造流程與集成電路設(shè)計開發(fā)環(huán)節(jié)，在前道制程的半導(dǎo)體晶圓電性檢測作業(yè)中，負責(zé)讓檢測設(shè)備的接觸探針精準(zhǔn)對接半導(dǎo)體電極，完成高精度定位作業(yè)。
半導(dǎo)體電極的面積十分微小，必須讓檢測設(shè)備的探針精準(zhǔn)貼合對應(yīng)點位，因此探針臺需要具備極g高的精密控制能力，以此滿足嚴(yán)苛的定位要求。
除半導(dǎo)體芯片之外，設(shè)備還廣泛適用于 PCB 電路板、傳感器、濾波器等各類薄膜基板，以及低溫共燒陶瓷這類陶瓷基板封裝產(chǎn)品的電氣性能檢測與特性評估工作。
探針臺應(yīng)用用途
探針臺主要用于半導(dǎo)體、薄膜基板、封裝基板等產(chǎn)品的電氣性能檢測。面向研發(fā)實驗場景使用的機型，需要具備噪音抑制、規(guī)避信號串?dāng)_的功能，保障高精度測量效果，同時測量方式通用性更強，可靈活適配多種測試方案。
面向量產(chǎn)生產(chǎn)線使用的設(shè)備，核心要求集中在高速運行、快速作業(yè)，能夠穩(wěn)定高效完成大批量精準(zhǔn)檢測作業(yè)，需根據(jù)實際生產(chǎn)工況，在多種機型中合理選配適配設(shè)備。
進行溫度特性評估時，為驗證元器件在高低溫環(huán)境下的運行狀態(tài)，探針臺自身需擁有良好的耐溫性能。在功率半導(dǎo)體器件的檢測場景中，則需要選用可適配高壓工況、滿足低阻抗測試需求的專用探針臺。
探針臺工作原理
以應(yīng)用最為普遍的硅晶圓專用探針臺為例進行說明。探針臺主要由固定硅晶圓的晶圓載臺、帶動載臺實現(xiàn)平面移動的位移平臺、搭載多根檢測探針并可垂直升降的接觸壓板，以及用于視覺對位的定位攝像組件組成。
除核心機械結(jié)構(gòu)外，多數(shù)探針臺產(chǎn)品還會集成晶圓輸送機構(gòu)。設(shè)備運行時，放入硅晶圓后，輸送系統(tǒng)會將物料運送至指定工位并完成固定。
隨后依靠位移平臺完成平面方位校準(zhǔn)，調(diào)整測試探針與晶圓表面半導(dǎo)體電極的相對位置，校準(zhǔn)完成后接觸壓板垂直動作，使探針與電極穩(wěn)定接觸。依托這套作業(yè)流程，便可配合檢測儀器完成半導(dǎo)體各類電氣參數(shù)的檢測分析。
