產(chǎn)地類別	進口	產(chǎn)品類型	無油泵
價格區(qū)間	面議	儀器種類	真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)，氮氧化物排放低，反應(yīng)副產(chǎn)物充足，以降低維護成本。
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心產(chǎn)品，以無油潔凈、高耐腐蝕、節(jié)能低噪著稱，廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、化工等高要求工況。

產(chǎn)品介紹

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)

無油、干凈的真空

可以從大氣壓到高真空無需定期維護，如加水或更換機油

節(jié)能且緊湊的設(shè)計。令人安心的*支持和豐富的產(chǎn)品陣容

Ebara干式真空泵以節(jié)能和小巧著稱，廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。獨特優(yōu)化的旋翼設(shè)計提高了壓縮效率，實現(xiàn)了低功耗。由于其緊湊輕便的設(shè)計，能夠安裝在有限的空間內(nèi)，且易于搬遷。我們已向*出貨超過20萬臺*，活躍于多個領(lǐng)域，主要集中在半導(dǎo)體行業(yè)，對性能和可靠性的要求非常嚴(yán)格。

干式真空泵是一種不使用油或液體密封的非接觸式真空泵。它們實現(xiàn)了干凈的真空，沒有水和油的回流或擴散。此外，無需定期維護，如加水或更換水或機油，操作非常簡單。它是半導(dǎo)體制造工藝和FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵，這些工藝強調(diào)清潔性。近年來，它們的應(yīng)用范圍擴大，因為它能夠輕松、干凈地從質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀中提取氣體。此外，由于清潔的真空和便捷的維護，它們也被應(yīng)用于真空干燥工藝和薄膜沉積工藝等多種領(lǐng)域。

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)

TND 系列

燃燒型排氣減排系統(tǒng)，氮氧化物排放低，反應(yīng)副產(chǎn)物充足，以降低維護成本。

燃燒型排氣減排系統(tǒng)
低氮氧化物和低一氧化碳排放
多種氣體類型的批量處理
高效消滅前層葉
副產(chǎn)物去除措施/粉末狀副產(chǎn)物的自動去除
濕-燃燒-濕式模型可選
長時間維護間隔
低運行成本
特色與優(yōu)勢
TND系列是一種燃燒型排氣減排系統(tǒng)，采用獨特的燃燒系統(tǒng)以實現(xiàn)低氮氧化物和低一氧化碳排放。多種腐蝕和副產(chǎn)品對策實現(xiàn)了比傳統(tǒng)產(chǎn)品的三倍長維護周期。低公用事業(yè)消耗也帶來了較低的運行成本。該系列包括 TND-Single（燃燒+濕式）和 TND-Single Plus（濕式+燃燒+濕式）。該系列即使在高副產(chǎn)物產(chǎn)生的工藝中，也能實現(xiàn)低運行成本和高效的消融
規(guī)格

Type	Unit	TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4	TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
Abatement method		burn+ wet	wet + burn + wet
Max. inflow gas volume	L/min	200(per port） 400(per burner）	200(per port） 400(per burner）
Fuel		City gas or propane gas	City gas or propane gas
Dimensions	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,980	1,200 x 650 x 1,980
Gases (e.g.)		Process (depo) gases SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6, H2, PH3, Si3H8, etc. Cleaning gases - all types NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc. Etching gases – all types HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc.	Process (depo) gases WF6, TiCl4, SiH4, PH3, GeH4, NH3, SiH2Cl2, TEOS, B2H6, H2, etc. Cleaning gases - all types NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc. Etching gases – all types HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc. PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc.
Standard equipment		Washing mechanism for powder removal Burner scraper for powder removal	Powder filtering mechanism Burner scraper for powder removal
Options		City water/drainage consumption reduction unit Fan scrubber for reduction of powder emissions	City water/drainage consumption reduction unit Fan scrubber for reduction of powder emissions

相關(guān)產(chǎn)品

13696999258

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃燒型排氣減排系統(tǒng)

無油、干凈的真空

TND 系列

燃燒型排氣減排系統(tǒng)，氮氧化物排放低，反應(yīng)副產(chǎn)物充足，以降低維護成本。

特色與優(yōu)勢

會員登錄

收藏該商鋪

提示

客戶評價列表

無油、干凈的真空

燃燒型排氣減排系統(tǒng)，氮氧化物排放低，反應(yīng)副產(chǎn)物充足，以降低維護成本。