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宮崎科技（廈門）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
RFS-1350NULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- RFS-1350N 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：25更新時(shí)間：2026-06-22 10:46:25
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 供貨周期 | 一個(gè)月以上 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
此外，由于射頻電源內(nèi)置自動(dòng)匹配控制器功能，僅用射頻電源單元即可實(shí)現(xiàn)射頻電源的功率控制和匹配系統(tǒng)控制。
特色
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號(hào)：RFS-1350N
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號(hào)：RFS-1350N
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過在電極之間施加電壓來產(chǎn)生等離子體的裝置。
利用該技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。
通過這些工藝，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以創(chuàng)造新的附加價(jià)值。 這項(xiàng)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｊ褂玫漠a(chǎn)品中。
各種膜的形成創(chuàng)造了附加價(jià)值，改變了它們的形狀，現(xiàn)在也被用作我們?nèi)粘Ｉ钪惺煜さ漠a(chǎn)品。
相關(guān)行業(yè)極為廣泛，涵蓋半導(dǎo)體和電子設(shè)備、顯示器、可再生能源、儲(chǔ)能、汽車等。 膠片材料的選擇和所用工藝對(duì)膠片形成至關(guān)重要，在考慮生產(chǎn)效率和質(zhì)量時(shí)，動(dòng)力源的選擇也是一個(gè)關(guān)鍵因素。
薄膜形成工藝包括PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化，每種工藝都需要合適的電源。
·帶內(nèi)置積分器的高頻電源：“
型號(hào)：RMG" ·多功能高頻電源系統(tǒng)（射頻電源系統(tǒng)）：“型號(hào)：RF-N"
• 多種高頻電源選項(xiàng)：“型號(hào)：MEX-N"/" 型號(hào)：EXN“ / "型號(hào)：PHS-N“ / "型號(hào)：EXO“
特色
通過配備高功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路，實(shí)現(xiàn)了節(jié)能效果。
高速自動(dòng)匹配與高速算法
射頻電源內(nèi)置自動(dòng)匹配功能
提供外部模擬控制和串行通信控制。
通過基于多年積累的技術(shù)設(shè)計(jì)，我們實(shí)現(xiàn)了可靠性。
規(guī)格
| 射頻電源模型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 輸入規(guī)范 | 輸入電壓 | 單相交流 200V - 220V | 三相交流 200V - 220V | ||
| 輸入容量 | 1.2 kVA或以下 | 1.8 kVA或以下 | 低于5千伏安 | 低于8千伏安 | |
| 輸出規(guī)范 | 振蕩頻率 | 13.56MHz | |||
| 額定功率 | 500W（50Ω負(fù)載時(shí)） | 1000W（50Ω負(fù)載） | 3000W（50Ω負(fù)載時(shí)） | 5000W（50Ω負(fù)載時(shí)） | |
| 同軸輸出連接器 | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷卻方法 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | 強(qiáng)制風(fēng)冷+水冷 | |||
| 不需要冷卻水 | 流量：4升/分鐘 | 流量：6升/分鐘 | |||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 240 x 495 x 150（毫米） | 480 × 500 × 150 （毫米） | |||
| 質(zhì)量 | 約11公斤 | 大約23公斤 | |||
| 兼容規(guī)范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | ||||
| 匹配盒模型 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 輸入功率 | 30~500W | 30~1000W | 30~3000W | 50~5000W |
| 允許輸出電流 | 30A | 80A | 120A | |
| 允許輸出電壓 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷卻方法 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | 水冷（2升/分鐘） | ||
| 外部尺寸（W×D×H）不包括突出物 | 375 × 250 × 120 （毫米） | 375 × 250 × 170 毫米 | 450 × 500 × 248 （毫米） | |
| 質(zhì)量 | 大約8公斤 | 大約10公斤 | 約21公斤 | |
| 兼容規(guī)范 | CE、KC、半F47、半S2、RoHS | |||
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