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宮崎科技（廈門(mén)）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
MEX-NULVAC/日本愛(ài)發(fā)科高頻電源系統(tǒng)
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MEX-N 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
- 廈門(mén)市 所在地
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：39更新時(shí)間：2026-06-22 10:51:00
馮女士
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 供貨周期 | 一個(gè)月以上 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號(hào)：MEX-N
ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號(hào)：MEX-N
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過(guò)在電極之間施加電壓來(lái)產(chǎn)生等離子體的裝置。
利用該技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。
通過(guò)這些工藝，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以創(chuàng)造新的附加價(jià)值。 這項(xiàng)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｊ褂玫漠a(chǎn)品中。
各種膜的形成創(chuàng)造了附加價(jià)值，改變了它們的形狀，現(xiàn)在也被用作我們?nèi)粘Ｉ钪惺煜さ漠a(chǎn)品。
相關(guān)行業(yè)極為廣泛，涵蓋半導(dǎo)體和電子設(shè)備、顯示器、可再生能源、儲(chǔ)能、汽車(chē)等。 膠片材料的選擇和所用工藝對(duì)膠片形成至關(guān)重要，在考慮生產(chǎn)效率和質(zhì)量時(shí)，動(dòng)力源的選擇也是一個(gè)關(guān)鍵因素。
薄膜形成工藝包括PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化，每種工藝都需要合適的電源。
·帶內(nèi)置積分器的高頻電源：“
型號(hào)：RMG" ·多功能高頻電源系統(tǒng)（射頻電源系統(tǒng)）：“型號(hào)：RF-N"
• 多種高頻電源選項(xiàng)：“型號(hào)：MEX-N"/" 型號(hào)：EXN“ / "型號(hào)：PHS-N“ / "型號(hào)：EXO“
這是一種用于匹配等離子體發(fā)電電源（如射頻濺射、等離子體CVD和刻蝕）盒的開(kāi)關(guān)電源。
特色
你可以在多個(gè)匹配的盒子之間切換。
當(dāng)不需要同時(shí)放電時(shí)，它可以使用，通過(guò)減少設(shè)備內(nèi)安裝的電源數(shù)量，有助于降低成本。
由于每個(gè)陰極使用一個(gè)匹配盒，可以從不同阻抗的陰極中選擇。
規(guī)格
| 容量區(qū)間 | 匹配盒式交換機(jī)數(shù)量 | ||||||
| 2個(gè)單位 | 3個(gè)單位 | 4個(gè)單位 | 5個(gè)單位 | 6個(gè)單位 | 7個(gè)單位 | 8個(gè)機(jī)車(chē)組 | |
| 500,1千瓦 | 墨西哥-2N-1k | 墨西哥-3N-1k | 墨西哥-4N-1k | 墨西哥-5N-1k | 墨西哥-6N-1k | 墨西哥-7N-1k | 墨西哥-8N-1k |
| 3千瓦 | 墨西哥-2N-3k | 墨西哥-3N-3k | 墨西哥-4N-3k | 墨西哥-5N-3k | 墨西哥-6N-3k | 墨西哥-7N-3k | 墨西哥-8N-3k |
| 5千瓦 | 墨西哥-2N-5k | 墨西哥-3N-5k | 墨西哥-4N-5k | - | - | - | - |
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