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宮崎科技（廈門）有限公司
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EXN4M-40AULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EXN4M-40A 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：15更新時間：2026-06-22 10:55:34
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 供貨周期 | 一個月以上 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號：EXN4M-40A
ULVAC/日本愛發(fā)科高頻電源系統(tǒng)，型號：EXN4M-40A
等離子體發(fā)電電源或薄膜形成電源是一種通過在電極之間施加電壓來產(chǎn)生等離子體的裝置。
利用該技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化等真空工藝。
通過這些工藝，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以創(chuàng)造新的附加價值。 這項技術(shù)被廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｊ褂玫漠a(chǎn)品中。
各種膜的形成創(chuàng)造了附加價值，改變了它們的形狀，現(xiàn)在也被用作我們?nèi)粘Ｉ钪惺煜さ漠a(chǎn)品。
相關(guān)行業(yè)極為廣泛，涵蓋半導(dǎo)體和電子設(shè)備、顯示器、可再生能源、儲能、汽車等。 膠片材料的選擇和所用工藝對膠片形成至關(guān)重要，在考慮生產(chǎn)效率和質(zhì)量時，動力源的選擇也是一個關(guān)鍵因素。
薄膜形成工藝包括PVD（如濺射）、CVD、蝕刻和灰化，每種工藝都需要合適的電源。
·帶內(nèi)置積分器的高頻電源：“
型號：RMG" ·多功能高頻電源系統(tǒng)（射頻電源系統(tǒng)）：“型號：RF-N"
• 多種高頻電源選項：“型號：MEX-N"/" 型號：EXN“ / "型號：PHS-N“ / "型號：EXO“
特色
你可以切換匹配盒子的輸出。
由于無需為每個陰極安裝匹配的盒子，這大大降低了設(shè)備成本。
切換方式有兩種：手動和電動機(jī)驅(qū)動。 我們還準(zhǔn)備了水冷系統(tǒng)，支持更高的功耗。
它也可以用作直流電源和直流脈沖輸出的切換器。
由于只使用一個匹配箱，超出匹配范圍的負(fù)載不能同時使用。
規(guī)格
| 規(guī)格 | 風(fēng)冷目標(biāo)選擇器規(guī)格 | |||||
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
| 開關(guān)觸點(diǎn)數(shù)量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用頻率 | DC-13.56MHz | |||||
| 額定電流 | 40A | |||||
| 切換方法 | 手動類型 | 電式 | ||||
| 冷卻方法 | 自然風(fēng)冷 | |||||
| 規(guī)格 | 水冷目標(biāo)選擇器規(guī)格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 開關(guān)觸點(diǎn)數(shù)量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用頻率 | DC-13.56MHz | |||||
| 額定電流 | 70A | |||||
| 切換方法 | 手動類型 | 電式 | ||||
| 冷卻方法 | 水冷 | |||||
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