質(zhì)量流量控制器 VEFC

適用惰性氣體的質(zhì)量流量控制器 VEFC結(jié)構(gòu)緊湊，具備壓電閥的大部分優(yōu)勢(shì)：超高動(dòng)態(tài)、無級(jí)精度、超低電耗、超低發(fā)熱、無需手動(dòng)調(diào)節(jié)即可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量。

超緊湊：寬度僅 24 mm

直接控制，動(dòng)態(tài)壓電閥

非常靈活：可個(gè)性化設(shè)置控制參數(shù)

出色的性價(jià)比

精確控制惰性氣體：性價(jià)比之選

質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥 VEFC 尤其適合用于半導(dǎo)體工業(yè)，但也適用于需要精確控制惰性氣體的場合。VEFC 結(jié)構(gòu)非常緊湊，是對(duì)受控氣動(dòng)系統(tǒng)產(chǎn)品組合的有力補(bǔ)充。同時(shí)，它還具有壓電閥的相關(guān)優(yōu)點(diǎn)：動(dòng)態(tài)性能超高、無級(jí)精度、超低電耗、超低發(fā)熱、無需手動(dòng)調(diào)節(jié)即可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量以及很高的性價(jià)比。

經(jīng)濟(jì)、安全、精確的氮?dú)獯祾?/span>

將 VEFC 安裝在負(fù)載端口，即可在單個(gè)吹掃步驟中調(diào)節(jié)不同流量。在預(yù)吹、預(yù)吹掃、過程吹掃和后吹掃過程中，VEFC 可確保只消耗絕對(duì)必要的氮?dú)饬?。這樣一來就能節(jié)省氮?dú)?，縮短過程時(shí)間，直至達(dá)到干燥的保護(hù)氣體環(huán)境。