當(dāng)前位置:江蘇容道社半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司>>勻膠機(jī)/旋涂?jī)x>>勻膠旋涂?jī)x>> SC-12-CTM 勻膠機(jī)(旋涂?jī)x)

SC-12-CTM 勻膠機(jī)(旋涂?jī)x)說(shuō)明
| SC-12-CTM 勻膠機(jī)(旋涂?jī)x)參數(shù) | |
| 可處理基片尺寸 | ≤300mm |
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 20-5000rpm |
| 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
| 加速度可調(diào)范圍 | 20-10000rpm/s |
| 單步時(shí)長(zhǎng) | ≤3000s |
| 均勻性數(shù)據(jù) | |
| 4寸晶圓 片內(nèi): ±0.58% 片間: ±0.20% 膜厚: 1470nm 膠液: AZ1500(20CP) | |
| 6寸晶圓 片內(nèi): ±0.72% 片間: ±0.89% 膜厚: 1320nm 膠液: AZ1500(20CP) | |
| 8寸晶圓 片內(nèi): ±0.60% 片間: ± 1.32% 膜厚: 2260nm 膠液: AZ1500(20CP) | |
| 12寸晶圓 片內(nèi): ± 1.10% 片間: ±0.68% 膜厚: 490nm 膠液: AZ1500(4.4CP) | |
| 可編程100組100步程序,更多可擴(kuò)展 | |
| 四路自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能 | |
| 標(biāo)配10mm 、25mm 、2英寸三種直徑規(guī)格真空載物盤(pán), 按需定制載物盤(pán) | |



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