SD-1 小型涂膜機說明
 

　　● 觸摸屏界面控制系統(tǒng)
 

　　● 鋁合金鏡面研磨加工面板，帶真空吸附功能
 

　　● 精準控制剪切速率，控溫精準
 

　　● 配備可調涂膜刮刀或標準線棒操作
 

　　● 外形尺寸：450mm(W)*260mm(D)*249mm(H)
  

　　江蘇容道社半導體設備科技有限公司總部位于江蘇蘇州吳江汾湖高新區(qū)BGT園區(qū)內，占地面積5000 平米；擁有專業(yè)的黃光生產實驗區(qū)以及半導體設備生產組裝及測試車間；擁有一支能與時俱進、緊跟行業(yè)技術發(fā)展并能不斷創(chuàng)新的技術與產品研發(fā)團隊；容道社已形成自主可控的I線、G線、H線光刻機、勻膠機、顯影機、勻膠顯影一體機、金屬剝離去膠機、濕法刻蝕機、濕法清洗機等冷熱處理與客制化需求等設備產品系列與獨立模塊產品，可適應不同工藝等級的客戶要求；容道社自主產品已通過客戶現場驗證實現晶圓上料、工藝傳送、勻膠、光刻、顯影、金屬剝離去膠、刻蝕，清洗等一系列生產工藝鏈條流程化實現缺陷聯防達到工廠自動化、信息化、智能化。

SD-1 小型涂膜機參數
涂膜速度	1-50mm/s
調節(jié)精度	1mm/s
行程長度	250mm
面板尺寸	380mm*210mm
真空吸附區(qū)域	A4尺寸
加熱溫度	室溫-200℃
熱均勻性	≤ ± 1.5%
真空接口	真空外徑6mm
真空輸入要求	0.04-0.09Mpa， 真空流量最小15L/Min
電源輸入	AC220V