一、產(chǎn)品定位

二、核心特點(diǎn)（最大亮點(diǎn)）

1. 無彈簧結(jié)構(gòu)：內(nèi)部不使用金屬彈簧，流體側(cè)無金屬件，杜絕鐵、鎳等金屬離子污染

2. 全氟接液材質(zhì)：閥體 PFA、隔膜 PTFE，耐 HCl、HI、HF、強(qiáng)酸強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑

3. 超高潔凈度：可用于 DIW 超純水、光刻膠、蝕刻液、高純氣體、生物醫(yī)藥試劑

4. 零泄漏隔膜式，結(jié)構(gòu)簡單，壽命長，無彈簧疲勞問題

5. 直動式驅(qū)動，響應(yīng)快，適配半導(dǎo)體設(shè)備自動控制

三、主要型號及功能

• NAVR?2：2 通常閉型（主流）

  不通電關(guān)閉，通電開啟，用于藥液 / 超純水通斷

• NAVR?3：3 通切換型

  用于氣路 / 藥液換向、真空切換、取樣回路

常用接口

四、技術(shù)參數(shù)

• 工作壓力：0～0.5 MPa

• 使用溫度：0～80℃

• 標(biāo)準(zhǔn)電壓：DC24V

• 接液材質(zhì)：PFA（閥體）、PTFE（隔膜）

• 密封：隔膜零泄漏

• 適用流體：超純水、高純化學(xué)品、光刻膠、HCl/HI 腐蝕流體、半導(dǎo)體制程氣體

五、NAVR / AVS / AVH 選型對比

1. AVS：標(biāo)準(zhǔn)型，帶彈簧，通用潔凈、性價比高

2. AVH：高壓型，帶彈簧，耐壓 0.8MPa

3. NAVR：無彈簧?超高純型，零金屬污染，半導(dǎo)體制程專用

六、典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體：SiC 碳化硅刻蝕、清洗、超高純 DI 水系統(tǒng)、光刻膠供給

• 面板 / 光伏：化學(xué)品輸送

• 醫(yī)療 / 分析：高純試劑、無金屬污染管路

• 強(qiáng)腐蝕環(huán)境：HI、HCl、HF 等高腐蝕高純流體控制