一、產(chǎn)品定位

二、核心特點(diǎn)

1. 隔膜式結(jié)構(gòu)：執(zhí)行器與流體隔離，無金屬接觸介質(zhì)，無金屬離子析出

2. 全氟接液材質(zhì)：閥體 PFA、隔膜 PTFE，耐 HI、HCl、HF、強(qiáng)酸強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑、光刻膠

3. 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)為主，也有多種手動(dòng)款，適配自動(dòng)化設(shè)備與手動(dòng)調(diào)試

4. 雙向流通、零泄漏、耐疲勞，適合頻繁開關(guān)

5. 體積緊湊，可做歧管集成，節(jié)省安裝空間

三、全系列型號(hào)分類（完整）

1. 標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)型（常用）

• SAV?10、SAV?15、SAV?20、SAV?25、SAV?30

  接口：M6、1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"

2. 手動(dòng)撥動(dòng)式

• SAV?T?10、SAV?T?15、SAV?T?20

  手動(dòng)扳動(dòng)開關(guān)，用于手動(dòng)通斷、檢修回路

3. 手動(dòng)多圈微調(diào)式

• SAV?M?10、SAV?M?15、SAV?M?20

  多圈旋鈕精準(zhǔn)開閉，可微調(diào)節(jié)流

4. 高溫型（HT）

• SAV?HT?10、SAV?HT?15、SAV?HT?20

  耐高溫版，最高使用溫度 120℃，適配高溫藥液

5. 歧管集成式

• SAV?MAN?10/15/20

  多閥一體集成閥組，節(jié)省空間，多用于半導(dǎo)體模組

四、技術(shù)參數(shù)

• 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn) 0.4～0.6 MPa 氣源）/ 手動(dòng)

• 流體壓力：0～0.5 MPa

• 標(biāo)準(zhǔn)溫度：0～80℃；高溫型 HT：0～120℃

• 接液材質(zhì)：PFA 閥體 + PTFE 隔膜

• 密封形式：隔膜零泄漏密封

• 適用流體：超純水、蝕刻液、清洗液、HCl/HI 強(qiáng)腐蝕介質(zhì)、高純化學(xué)品

五、SAV 與電磁閥（AVS/AVH/NAVR）區(qū)別

• SAV：氣控隔膜閥，靠壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，通徑大、流量大，適合主管路、大流量藥液

• AVS/AVH/NAVR：電磁閥，電信號(hào)直接驅(qū)動(dòng)，小流量、快速切換，用于分支回路、控制回路

六、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：SiC 碳化硅制程、刻蝕清洗、強(qiáng)酸強(qiáng)堿供液

• 面板、光伏：化學(xué)品輸送、超純水系統(tǒng)

• 化工、分析儀器：強(qiáng)腐蝕流體主路開關(guān)