一、產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：NFUND?71G?6.35?2

• 系列歸屬：NEW?MEGA 系列 手動(dòng)超高純隔膜閥（富士金頂級(jí)旗艦）

• 通徑：6.35 mm（1/4"）

• 類型：手動(dòng)、直動(dòng)式、零死區(qū)隔膜閥

• 應(yīng)用定位：半導(dǎo)體 12 寸晶圓、SiC、優(yōu)良制程、超高純特氣管路專用

二、型號(hào)含義拆解

• NFUND：NEW?MEGA 系列 手動(dòng)隔膜閥

• 71G：閥體規(guī)格代碼，EP 電解拋光、VCR 接口、標(biāo)準(zhǔn)型

• 6.35：接管通徑 6.35mm（1/4 英寸）

• 2：標(biāo)準(zhǔn)流路規(guī)格、Cv 規(guī)格代碼

三、核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)（接液部全高純）

1. 閥體：SUS316L，EP 電解拋光（Ra≤0.25μm），可選 UP 超拋光

2. 隔膜：鎳?鈷合金（哈氏合金系），抗疲勞、耐強(qiáng)腐蝕、極低掉顆粒

3. 閥座：PCTFE，耐 HF、HCl、HI、WF?等腐蝕性特氣

4. 手柄：聚酰亞胺，耐高溫、防靜電、耐腐蝕

5. 結(jié)構(gòu)：零死區(qū)設(shè)計(jì)，無流體滯留死角，氣置換性能佳

四、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮?dú)?20℃）

• 泄漏等級(jí)：

• 閥座內(nèi)漏：氣泡級(jí)零泄漏

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 接口形式：VCR 公頭 1/4"（UJR 接口）

• 操作方式：手動(dòng)旋轉(zhuǎn)手柄開關(guān)，帶開閉手感反饋

五、適用流體與工況

• 高純氣體：N?、Ar、He、O?、H?

• 腐蝕性氣體：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?

• 適用場(chǎng)景：刻蝕、薄膜沉積、擴(kuò)散、清洗機(jī)臺(tái)、特氣柜、氣體面板、超高純氣路

• 適配工藝：8/12 寸晶圓、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN 優(yōu)良制程

六、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. NEW?MEGA 系列最小死區(qū)、最高潔凈度，滿足優(yōu)良半導(dǎo)體嚴(yán)苛顆粒要求

2. 隔膜長(zhǎng)壽命，疲勞次數(shù)遠(yuǎn)超普通 MEGA 系列

3. 體積緊湊，面板安裝密度高

4. VCR 標(biāo)準(zhǔn)接口，適配富士金全系列接頭，互換性強(qiáng)