一、基礎(chǔ)信息

• 型號：FPR?ND?71?6.35?2

• 所屬系列：NEW?MEGA 系列 氣動常閉隔膜閥（半導(dǎo)體旗艦高純閥）

• 驅(qū)動方式：氣動常閉 NC（通氣打開，斷氣自動關(guān)閉）

• 通徑：6.35 mm（1/4"）

• 用途：半導(dǎo)體特氣、超高純氣體、腐蝕性氣體自動開關(guān)，特氣柜、機臺氣路、SiC/GaN 優(yōu)良制程

二、型號代碼含義

• FPR：FUJIKIN Pneumatic Regulator 氣動閥

• ND：Normally Closed 常閉型（標(biāo)準(zhǔn)主流）

• 71：NEW?MEGA 標(biāo)準(zhǔn)閥體，EP 電解拋光，VCR 接口

• 6.35：接管口徑 6.35 mm（1/4"）

• 2：標(biāo)準(zhǔn)流路、Cv 規(guī)格

三、接液部材質(zhì)（高純耐腐蝕）

1. 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

2. 隔膜：鎳?鈷合金（哈氏合金類），抗疲勞、耐 HCl/HI/HF、低發(fā)塵

3. 閥座：PCTFE，耐強腐蝕特氣

4. 執(zhí)行器：鋁合金陽極氧化，潔凈防靜電

5. 結(jié)構(gòu)：零死區(qū)、無滯留死角，氣置換性能優(yōu)異

四、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（N?，20℃）

• 泄漏等級：

• 閥座：零泄漏

• 外部泄漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 控制氣源壓力：0.4～0.6 MPa（4–6 bar）

• 接口：1/4" VCR 公頭（UJR）

• 開關(guān)壽命：≥100 萬次

• 響應(yīng)速度：快速開閉，適合自動控制

五、適用氣體 & 工況

• 惰性 / 高純氣體：N?、Ar、He、O?、H?

• 腐蝕性氣體：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?、NF?

• 應(yīng)用場景：刻蝕、沉積、擴散、清洗設(shè)備、特氣柜、氣體面板、超高純自動氣路

• 適配制程：8/12 寸晶圓、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN

六、可選后綴（選型常用）

• ?PA：標(biāo)準(zhǔn)氣動執(zhí)行器

• ?UP：閥體 UP 超拋光（Ra≤0.02μm，12 寸 / SiC 優(yōu)先）

• ?NL：無潤滑劑超潔凈型

• ?BMP：低金屬析出版本