一、基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：FPR?SD?71?6.35?2

• 系列：NEW?MEGA 系列 氣動(dòng)常開隔膜閥（富士金超高純旗艦閥）

• 動(dòng)作形式：氣動(dòng)常開 NO（通氣關(guān)閉，斷氣自動(dòng)打開）

• 通徑：6.35 mm（1/4"）

• 定位：半導(dǎo)體超高純氣路、特氣、腐蝕性氣體自動(dòng)切斷 / 導(dǎo)通，用于吹掃、旁路、應(yīng)急常開回路

二、型號(hào)代碼解析

• FPR：FUJIKIN 氣動(dòng)隔膜閥系列

• SD：Normally Open 常開型（失氣開啟）

• 71：NEW?MEGA 標(biāo)準(zhǔn)閥體，EP 電解拋光，VCR 接口

• 6.35：接管口徑 6.35mm（1/4 英寸）

• 2：標(biāo)準(zhǔn)流路規(guī)格、Cv 規(guī)格

三、接液部材質(zhì)（高純耐腐蝕）

1. 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

2. 隔膜：鎳?鈷合金，抗疲勞、耐 HCl/HI/HF/WF?、低顆粒析出

3. 閥座：PCTFE，耐強(qiáng)腐蝕特氣

4. 執(zhí)行器：鋁合金陽(yáng)極氧化，潔凈防靜電

5. 結(jié)構(gòu)：零死區(qū)設(shè)計(jì)，無(wú)流體滯留，氣置換優(yōu)異

四、核心技術(shù)參數(shù)

• 最高工作壓力：1.0 MPa

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮?dú)?20℃）

• 內(nèi)漏：閥座零泄漏

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢標(biāo)準(zhǔn)）

• 控制氣源壓力：0.4～0.6 MPa

• 接口：1/4" VCR 公頭（UJR）

• 開關(guān)壽命：≥100 萬(wàn)次

• 響應(yīng)速度快，適配 PLC 自動(dòng)化控制

五、適用氣體與應(yīng)用場(chǎng)景

• 高純氣體：N?、Ar、He、H?、O?

• 腐蝕性特氣：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?、NF?

• 典型用途：

• 氣體吹掃回路、旁路回路

• 應(yīng)急常開管路（斷電 / 斷氣自動(dòng)通氣）

• 刻蝕、沉積、清洗設(shè)備、特氣柜、氣體面板

• 8/12 寸晶圓、SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體優(yōu)良制程

六、常用后綴（完整訂貨型號(hào)）

• ?PA：標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)執(zhí)行器

• ?UP：閥體 UP 超拋光（12 寸 / SiC 工藝推薦）

• ?NL：無(wú)潤(rùn)滑劑超潔凈型

• ?BMP：低金屬析出、超高純版本