一、基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：FPR?UDDF?71?6.35?NL?PA?UP

• 所屬系列：NEW?MEGA 系列 兩段式氣動(dòng)隔膜閥（雙作用 / 兩段切換閥）

• 通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 類型：氣動(dòng)兩段式、雙行程、零死區(qū)高純隔膜閥

• 定位：半導(dǎo)體優(yōu)良制程、SiC/GaN、特氣柜、刻蝕 / 沉積設(shè)備，用于吹掃?隔離兩段控制、微量控制、預(yù)開啟 + 全開啟模式

二、型號(hào)代碼逐段解析

• FPR：FUJIKIN Pneumatic Regulator 氣動(dòng)隔膜閥

• UDDF：Two?stage Double?acting 兩段式雙作用執(zhí)行器（兩段開啟：預(yù)開→全開）

• 71：NEW?MEGA 標(biāo)準(zhǔn)閥體結(jié)構(gòu)

• 6.35：接管口徑 6.35mm（1/4"）

• NL：Non?Lube 無潤滑型，超高潔凈、無硅油污染

• PA：Pneumatic Actuator 標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)執(zhí)行器

• UP：Ultra?Polish 閥體超拋光處理（Ra≤0.02μm），12 寸 / SiC 優(yōu)良制程專用

三、結(jié)構(gòu)原理（兩段式核心）

1. 第一段（預(yù)開）：小開度，用于管路緩慢通氣、吹掃、降壓、防止沖擊

2. 第二段（全開）：打開，達(dá)到額定流量

   優(yōu)勢：避免瞬間高壓沖擊、防止顆粒揚(yáng)起、提升氣路穩(wěn)定性，適合精密特氣控制

四、接液部材質(zhì)（高純耐強(qiáng)腐蝕）

• 閥體：SUS316L，UP 超拋光 Ra≤0.02μm

• 隔膜：鎳?鈷合金，耐 HCl、HI、HF、WF?、Cl?等強(qiáng)腐蝕氣體，長壽命低發(fā)塵

• 閥座：PCTFE

• 無潤滑劑（NL）：全程無油脂，杜絕有機(jī)污染，適配 EUV、優(yōu)良邏輯 / 存儲(chǔ)芯片、第三代半導(dǎo)體

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 流體溫度：?10℃～+80℃

• Cv 值：0.35（氮?dú)猓?0℃）

• 泄漏：閥座零泄漏；外漏 ≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 控制氣源：0.4–0.6 MPa（兩路氣源分別控制兩段動(dòng)作）

• 接口：1/4" VCR 公頭

• 開關(guān)壽命：≥100 萬次

• 表面粗糙度：UP 級(jí) Ra≤0.02μm

六、適用流體與典型應(yīng)用

適用氣體

典型場景

1. 特氣柜、氣體面板兩段式吹掃隔離

2. 刻蝕、PVD、CVD 機(jī)臺(tái)精密供氣控制

3. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體、12 寸優(yōu)良晶圓制程

4. 要求無油、超潔凈、緩慢通氣防沖擊的超高純氣路