一、基礎信息

• 型號：FUNDL?71G?6.35?2

• 所屬系列：MEGA 系列 標準型手動高純隔膜閥（NEW?MEGA 上一代主流款）

• 操作方式：手動隔膜閥

• 通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：半導體成熟制程、一般特氣、超高純氣體、化學品管路，性價比主力型號

二、型號代碼含義

• FUNDL：MEGA 系列 標準型手動隔膜閥

• 71G：閥體規(guī)格，EP 電解拋光、VCR 接口、標準流路

• 6.35：接管口徑 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：標準流量規(guī)格、Cv 代碼

三、接液部材質（高純耐腐蝕）

1. 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm

2. 隔膜：鎳?鈷合金，耐疲勞、耐 HCl/HI/HF/WF?、低發(fā)塵

3. 閥座：PCTFE，適配各類腐蝕性特氣、高純氣體

4. 手柄：工程塑料，防靜電、耐腐蝕

5. 結構：低死區(qū)設計，流體滯留少，氣置換良好

四、核心技術參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮氣 20℃）

• 內漏：閥座零泄漏

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 接口：1/4" VCR 公頭（UJR）

• 操作：手動旋轉開關，帶開關到位手感

五、適用氣體 & 應用場景

• 高純氣體：N?、Ar、He、H?、O?

• 腐蝕性氣體：HCl、HI、HF、Cl?、WF?、SiH?、NF?

• 應用：8 寸晶圓、成熟 12 寸制程、光伏、面板、特氣柜旁路、吹掃管路、設備維修手動隔離閥