一、基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：FBDV?12.7?2B3?PA?BMP?UP

• 所屬系列：MEGA 系列 大流量氣動(dòng)隔膜閥（B3 大口徑流路）

• 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)常閉（NC）

• 通徑：12.7 mm（1/2"，大流量主流規(guī)格）

• 定位：半導(dǎo)體大宗氣體、大流量特氣、超純水、化學(xué)品管路、特氣柜主管路、SiC 產(chǎn)線大流量供氣

二、型號(hào)代碼逐段解析

• FBDV：MEGA 系列 大流量氣動(dòng)隔膜閥

• 12.7：接管口徑 12.7 mm（1/2" VCR）

• 2B3：B3 大流量流路，Cv 值更大，通流能力強(qiáng)

• PA：標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)執(zhí)行器

• BMP：低金屬析出（Bare Metal Particle），超低金屬離子析出，適配嚴(yán)苛高純 / 腐蝕性氣體

• UP：閥體超拋光 Ultra?Polish，Ra≤0.02μm，優(yōu)良制程、第三代半導(dǎo)體專用

三、接液部材質(zhì)（超高純強(qiáng)耐腐蝕）

1. 閥體：SUS316L，UP 超拋光 Ra≤0.02μm

2. 隔膜：鎳?鈷合金，耐 HCl、HI、HF、WF?、Cl?等強(qiáng)腐蝕，抗疲勞、低顆粒

3. 閥座：PCTFE，耐化學(xué)腐蝕，零泄漏密封

4. 執(zhí)行器：鋁合金陽(yáng)極氧化，潔凈防靜電

5. 結(jié)構(gòu)：低死區(qū)大流量流路，氣置換性能優(yōu)秀

四、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 流體溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.65（氮?dú)猓?0℃）（遠(yuǎn)大于常規(guī) 2 規(guī)格 0.35）

• 泄漏性能：閥座零泄漏；外漏 ≤5×10?12 Pa?m3/s（氦檢）

• 控制氣源壓力：0.4–0.6 MPa

• 接口：1/2" VCR 公頭

• 開關(guān)壽命：≥100 萬(wàn)次

• 表面粗糙度：UP 級(jí) Ra≤0.02μm

五、適用氣體與應(yīng)用場(chǎng)景

適用流體

典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體 / 面板 / 光伏 大流量主管路、大宗氣體供氣

2. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體產(chǎn)線大流量特氣控制

3. 刻蝕、CVD、PVD 設(shè)備主供氣閥、特氣柜總管閥

4. 要求低金屬析出、超拋光、大流量的超高純自動(dòng)化氣路