一、基礎(chǔ)信息

• 型號：SVLCD?71?6.35?2

• 系列：SVLCD 微量低容積變化手動隔膜閥（Small Volume Change Diaphragm Valve）

• 驅(qū)動方式：手動

• 接口通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：半導(dǎo)體精密微量氣路專用，用于 ALD、刻蝕、微量特氣、壓力穩(wěn)定控制、SiC/GaN 優(yōu)良制程

二、型號釋義

• SVLCD：小容積變化微量隔膜閥，核心特點是開關(guān)時內(nèi)部容積波動極小

• 71：標準閥體，VCR 接口、EP 電解拋光規(guī)格

• 6.35：接管口徑 6.35mm

• 2：微量流路規(guī)格代碼

三、核心優(yōu)勢

1. 極低容積變化：開關(guān)瞬間閥腔體積變化遠小于 NEW?MEGA/MEGA 常規(guī)閥，壓力波動極小、流量穩(wěn)定性高，適合微量精密控制

2. 低死區(qū)設(shè)計，氣置換干凈，減少氣體殘留與顆粒風(fēng)險

3. 直動式金屬隔膜結(jié)構(gòu)，零泄漏、長壽命、低發(fā)塵

4. 閥體緊湊，適合氣體面板高密度布局

四、接液部材質(zhì)

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

• 隔膜：鎳?鈷合金，耐 HCl、HI、HF、WF?、Cl?等強腐蝕氣體

• 閥座：PCTFE，耐化學(xué)腐蝕，閥座零泄漏

• 接口：1/4" VCR 公頭（UJR）

五、技術(shù)參數(shù)

• 最高工作壓力：1.0 MPa

• 適用溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.22（N?，20℃）（微量規(guī)格，小于常規(guī)閥 0.35）

• 內(nèi)漏：閥座零泄漏

• 外漏：≤5×10?12 Pa?m3/s（氦質(zhì)譜檢漏）

• 操作方式：手動旋轉(zhuǎn)啟閉

六、適用流體 & 應(yīng)用場景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. ALD 原子層沉積、刻蝕設(shè)備微量精密供氣

2. MFC 前端隔離閥、微量吹掃、壓力穩(wěn)定回路

3. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體精密工藝

4. 氣體面板微流量支路、檢漏氣路