一、基礎信息

• 型號：FPR?BW?71?6.35?PA

• 產品類型：氣動波紋管密封隔膜閥（氣動波紋管閥）

• 通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 所屬系列：71 系列高純波紋管氣動閥

• 定位：超高純、零外泄漏、高危特氣自動化控制，用于自燃、劇毒、強腐蝕氣體、半導體特氣柜、SiC/GaN 優(yōu)良制程

二、型號含義

• FPR：FUJIKIN Pneumatic 氣動閥

• BW：Bellows 波紋管密封結構

• 71：標準閥體，VCR 接口，EP 電解拋光

• 6.35：接管口徑 6.35 mm

• PA：Pneumatic Actuator 標準氣動執(zhí)行器

三、核心結構與優(yōu)勢

1. 金屬波紋管動密封，無填料，真正零外泄漏，安全等級遠高于普通氣動隔膜閥

2. 波紋管隔絕閥桿與介質，杜絕介質外泄，適配硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危氣體

3. 低死區(qū)、流道潔凈，氣置換性能優(yōu)異，低發(fā)塵、低金屬析出

4. 氣動自動控制，適配 PLC / 電磁閥遠程開關，自動化氣路專用

5. 抗真空、耐壓差，負壓?正壓切換穩(wěn)定

四、接液部材質

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

• 波紋管：哈氏合金 C?22，耐氫脆、耐鹵素、耐強腐蝕

• 閥座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公頭

五、關鍵技術參數

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 適用溫度：?10℃～+80℃

• Cv 值：0.32（氮氣，20℃）

• 泄漏：閥座零泄漏；外漏 ≤1×10?12 Pa?m3/s

• 控制氣源壓力：0.4–0.6 MPa

• 開關壽命：≥100 萬次

• 動作形式：默認常閉 NC（通氣開啟，斷氣關閉）

六、適用介質 & 應用場景

適用氣體

典型應用

1. 半導體特氣柜高危氣體自動隔離閥

2. CVD、刻蝕、ALD 設備高危氣體自動化管路

3. 高真空系統(tǒng)、檢漏系統(tǒng)自動控制

4. SiC/GaN 第三代半導體嚴苛工藝