一、基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：FPR?BW?71?6.35?PA

• 產(chǎn)品類型：氣動(dòng)波紋管密封隔膜閥（氣動(dòng)波紋管閥）

• 通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 所屬系列：71 系列高純波紋管氣動(dòng)閥

• 定位：超高純、零外泄漏、高危特氣自動(dòng)化控制，用于自燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體、半導(dǎo)體特氣柜、SiC/GaN 優(yōu)良制程

二、型號(hào)含義

• FPR：FUJIKIN Pneumatic 氣動(dòng)閥

• BW：Bellows 波紋管密封結(jié)構(gòu)

• 71：標(biāo)準(zhǔn)閥體，VCR 接口，EP 電解拋光

• 6.35：接管口徑 6.35 mm

• PA：Pneumatic Actuator 標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)執(zhí)行器

三、核心結(jié)構(gòu)與優(yōu)勢(shì)

1. 金屬波紋管動(dòng)密封，無(wú)填料，真正零外泄漏，安全等級(jí)遠(yuǎn)高于普通氣動(dòng)隔膜閥

2. 波紋管隔絕閥桿與介質(zhì)，杜絕介質(zhì)外泄，適配硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危氣體

3. 低死區(qū)、流道潔凈，氣置換性能優(yōu)異，低發(fā)塵、低金屬析出

4. 氣動(dòng)自動(dòng)控制，適配 PLC / 電磁閥遠(yuǎn)程開(kāi)關(guān)，自動(dòng)化氣路專用

5. 抗真空、耐壓差，負(fù)壓?正壓切換穩(wěn)定

四、接液部材質(zhì)

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

• 波紋管：哈氏合金 C?22，耐氫脆、耐鹵素、耐強(qiáng)腐蝕

• 閥座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公頭

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 適用溫度：?10℃～+80℃

• Cv 值：0.32（氮?dú)猓?0℃）

• 泄漏：閥座零泄漏；外漏 ≤1×10?12 Pa?m3/s

• 控制氣源壓力：0.4–0.6 MPa

• 開(kāi)關(guān)壽命：≥100 萬(wàn)次

• 動(dòng)作形式：默認(rèn)常閉 NC（通氣開(kāi)啟，斷氣關(guān)閉）

六、適用介質(zhì) & 應(yīng)用場(chǎng)景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體特氣柜高危氣體自動(dòng)隔離閥

2. CVD、刻蝕、ALD 設(shè)備高危氣體自動(dòng)化管路

3. 高真空系統(tǒng)、檢漏系統(tǒng)自動(dòng)控制

4. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體嚴(yán)苛工藝