一、基礎(chǔ)信息

• 型號：FUBV?915?6.35

• 產(chǎn)品類型：915 系列 高純手動波紋管閥（緊湊型 UHP 波紋管閥）

• 通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：超高純、零外泄漏、緊湊型結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體精密氣路、高危特氣、狹小空間安裝

二、型號代碼釋義

• FUBV：FUJIKIN Ultra?pure Bellows Valve 高純波紋管閥

• 915：915 緊湊型系列，結(jié)構(gòu)更短、體積更小，面板安裝更省空間

• 6.35：接管通徑 6.35 mm（1/4 英寸 VCR）

三、核心結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

1. 緊湊型短體設(shè)計，整體長度比 71 系列波紋管閥更短，適合密集型氣體面板布局

2. 金屬波紋管全焊接密封，零外泄漏，無填料密封，杜絕介質(zhì)外泄

3. 流道低死區(qū)，氣置換性能好，低顆粒、低金屬析出

4. 閥桿升降式啟閉，手感穩(wěn)定，開關(guān)行程短

四、接液部材質(zhì)

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光 Ra≤0.25μm，可選 UP 超拋光

• 波紋管：哈氏合金 C?22，耐 HCl、HI、HF、WF?、SiH?等強(qiáng)腐蝕、抗氫脆

• 閥座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公頭

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 最高使用壓力：1.0 MPa

• 適用溫度：?10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.30（氮?dú)猓?0℃）

• 閥座泄漏：零泄漏

• 外部泄漏：≤1×10?12 Pa?m3/s（氦質(zhì)譜檢漏）

• 操作方式：手動旋轉(zhuǎn)啟閉

六、適用介質(zhì)與應(yīng)用場景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體設(shè)備狹小空間高危氣體隔離閥

2. 特氣柜、氣體面板緊湊型波紋管閥位

3. CVD、刻蝕、ALD 精密微量氣路

4. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體嚴(yán)苛工藝