一、基礎(chǔ)信息

• 型號：FUCL?715?6.35?0.023

• 產(chǎn)品類型：固定孔板限流閥（流量限制器 / 孔板節(jié)流閥）

• 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

• 系列：FUCL?715 系列 UHP 高純精密限流元件

• 定位：半導(dǎo)體氣路固定流量限流，精準(zhǔn)限制最大流量、防止流量過載、保護(hù) MFC / 閥門、穩(wěn)定吹掃流量，用于特氣柜、刻蝕 / ALD、SiC 精密工藝

二、型號含義

• FUCL：FUJIKIN Fixed Orifice Choke 固定孔板限流閥

• 715：715 緊湊型閥體系列，VCR 接口、低死區(qū)設(shè)計

• 6.35：接管通徑 6.35 mm（1/4"）

• 0.023：孔徑規(guī)格 0.023 mm，極小流量孔板，微量限流專用

三、核心結(jié)構(gòu)特點

1. 精密硬質(zhì)合金固定微孔，孔徑恒定，流量不可調(diào)、穩(wěn)定可靠

2. 整體閥體低死區(qū)，氣置換干凈，低發(fā)塵、低金屬析出

3. 結(jié)構(gòu)簡單無活動部件，無泄漏風(fēng)險、壽命極長，免維護(hù)

4. 耐強腐蝕、抗高壓沖擊，適配 HCl、HI、HF、WF?等腐蝕性特氣

5. VCR 直插式，面板安裝便捷

四、接液部材質(zhì)

• 閥體：SUS316L，EP 電解拋光，可選 UP 超拋光

• 限流孔板：碳化鎢 / 硬質(zhì)合金，耐磨、耐化學(xué)腐蝕、尺寸穩(wěn)定

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公母一體

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 孔板孔徑：0.023 mm（超微量限流）

• 最高工作壓力：1.0 MPa

• 適用溫度：?10℃～+80℃

• 流量特性：在固定壓差下輸出恒定流量

• 流向：單向限流，按閥體箭頭方向安裝

• 潔凈等級：滿足 12 寸晶圓、SiC/GaN 優(yōu)良制程要求

六、適用介質(zhì)與應(yīng)用場景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. ALD、刻蝕設(shè)備微量吹掃固定流量控制

2. MFC 保護(hù)，防止瞬間大流量沖擊

3. 特氣柜旁路限流、泄壓回路流量限制

4. SiC 第三代半導(dǎo)體精密微量供氣系統(tǒng)