一、基礎(chǔ)信息

• 型號：FUCL?9100?6.35?0.1

• 產(chǎn)品類型：9100 系列 高壓型固定孔板限流閥（流量限制器）

• 接口通徑：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：高壓工況專用、固定流量節(jié)流，用于高壓氫氣、高壓特氣、半導(dǎo)體高壓管路限流、吹掃穩(wěn)流、保護(hù)后端元件

二、型號含義

• FUCL：Fixed Orifice Choke 固定孔板限流元件

• 9100：9100高壓系列閥體，耐壓等級遠(yuǎn)高于常規(guī) 715 系列

• 6.35：接管口徑 6.35 mm（1/4" VCR）

• 0.1：限流孔徑 0.1 mm，小流量固定節(jié)流規(guī)格

三、核心結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

1. 高壓加厚閥體結(jié)構(gòu)，專為高壓 / 高壓氫氣工況設(shè)計(jì)，抗氫脆、抗高壓沖擊

2. 硬質(zhì)合金精密微孔，孔徑固定，流量恒定、不可調(diào)節(jié)、免維護(hù)

3. 無活動(dòng)部件，零泄漏風(fēng)險(xiǎn)、超長壽命

4. 低死區(qū)、UHP 超高純潔凈設(shè)計(jì)，低顆粒、低金屬析出

5. 適配強(qiáng)腐蝕氣體，可用于 HCl、HI、HF、WF?等特氣

四、接液部材質(zhì)

• 閥體：SUS316L 高壓級不銹鋼，EP 電解拋光，可選 UP 超拋光

• 限流孔板：碳化鎢硬質(zhì)合金，耐磨、耐化學(xué)腐蝕、尺寸穩(wěn)定

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 高壓型接頭

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 限流孔徑：0.1 mm

• 最高工作壓力：20.5 MPa（205 bar）

• 適用溫度：?10℃～+80℃

• 流量特性：固定壓差下輸出恒定流量

• 流向：按閥體箭頭單向安裝

• 適用：高壓氫氣、高壓高純 / 腐蝕性氣體

六、適用介質(zhì) & 應(yīng)用場景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體高壓氫氣管路限流、穩(wěn)流吹掃

2. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體高壓工藝氣路

3. 高壓特氣柜、大宗高壓氣體流量限制

4. 保護(hù)后端 MFC、閥門、傳感器免受高壓沖擊