一、基礎(chǔ)信息

• 型號：FCST1000?01（FCST1000F 系列）

• 產(chǎn)品類型：熱式數(shù)字質(zhì)量流量控制器（MFC）

• 01 含義：代表最小量程規(guī)格，N?換算標(biāo)準(zhǔn)量程 10?SCCM（微量流量專用）

• 定位：半導(dǎo)體、SiC/GaN、ALD、刻蝕工藝微量氣體精準(zhǔn)流量控制，適配高純、腐蝕性、高危特種氣體，高速響應(yīng)、高精度數(shù)字型 MFC

二、型號釋義

• FCST：FCS?Thermal 富士金熱式質(zhì)量流量控制器系列

• 1000：1000 系列標(biāo)準(zhǔn)高速型 MFC

• ?01：10?SCCM 最小流量量程，微量級精密控制

三、核心結(jié)構(gòu)與優(yōu)勢

1. 高速響應(yīng)：采用電磁閥驅(qū)動(dòng)，全流量域響應(yīng)＜1 秒，流量調(diào)節(jié)快速穩(wěn)定

2. 高精度控制：控制精度 ±1.0% FS，可實(shí)現(xiàn) 2%?100% 全量程精準(zhǔn)調(diào)節(jié)，支持微量微調(diào)

3. 數(shù)字智能型：內(nèi)置微處理器，標(biāo)配 **RS485（Modbus?RTU）** 數(shù)字通信，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控、參數(shù)配置、流量記錄

4. 超高純潔凈：1 級禁油處理，金屬密封 / 氟橡膠密封可選，適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛潔凈要求

5. 適配高危氣體：耐 HCl、HI、HF、WF?、SiH?等強(qiáng)腐蝕、自燃、劇毒特氣

四、接液部材質(zhì)

• 閥體 / 傳感器：SUS316L 不銹鋼，可做 EP 電解拋光

• 密封：金屬密封（SUS316L）/ 氟橡膠密封可選

• 接口：標(biāo)準(zhǔn) 1/4" VCR/W?Seal 半導(dǎo)體專用接頭

五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 標(biāo)準(zhǔn)量程：10?SCCM（N?換算）

• 最高工作壓力：0.4?MPa（400?kPaG），耐壓 1.0?MPa

• 工作溫度：5?50℃

• 泄漏等級：金屬密封外漏≤1×10?11?Pa?m3/s He

• 控制信號：模擬 0?5V/4?20mA + 數(shù)字 RS485 雙模式

• 安裝：任意方向安裝，面板 / 管路直裝

六、適用介質(zhì) & 應(yīng)用場景

適用氣體

典型應(yīng)用

1. ALD 原子層沉積設(shè)備微量前驅(qū)體氣體精準(zhǔn)控制

2. SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體刻蝕、擴(kuò)散、薄膜工藝微量供氣

3. 半導(dǎo)體特氣柜、氣體面板小流量支路精密控制

4. 實(shí)驗(yàn)室精密氣體配比、微量吹掃系統(tǒng)