精度與定位性能

11. 精度梯度全覆蓋：經(jīng)濟(jì)型 ±1μm、精密型 ±0.5μm、閉環(huán)伺服亞微米、直線(xiàn)電機(jī)達(dá)亞納米級(jí)

12. 最小運(yùn)動(dòng)分辨率 0.05μm，微步分割可達(dá) 0.1μm / 脈沖，微量進(jìn)給無(wú)卡頓

13. 單向定位精度最高≤3μm，全行程線(xiàn)性度誤差極低，長(zhǎng)行程無(wú)漂移

14. 重復(fù)定位精度標(biāo)準(zhǔn) ±0.2μm，氣浮 / 壓電平臺(tái)可達(dá) ±0.01μm 級(jí)

15. 自研雙螺母預(yù)緊滾珠絲杠，反向間隙≤1μm，換向無(wú)滯后背隙誤差

16. 哥特式四點(diǎn)接觸交叉滾柱導(dǎo)軌，四點(diǎn)受力，俯仰 / 偏擺角誤差極小

17. 低速 0.1μm 微移動(dòng)無(wú)爬行抖動(dòng)，連續(xù)數(shù)千小時(shí)精度不衰減

18. 氣浮平臺(tái)無(wú)機(jī)械摩擦，零磨損、無(wú)振動(dòng)、無(wú)滯后，適配超高純晶圓檢測(cè)

19. 壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)毫秒級(jí)高速納米微調(diào)，適配硅光、光纖波導(dǎo)耦合對(duì)位

20. 高分辨率磁 / 光學(xué)編碼器閉環(huán)反饋，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、負(fù)載形變誤差

21. 全行程三段式激光干涉校準(zhǔn)，起點(diǎn) / 中點(diǎn) / 終點(diǎn)逐段記錄精度，附帶原廠(chǎng)檢測(cè)證書(shū)

22. 多軸堆疊正交誤差出廠(chǎng)校準(zhǔn)，XYZ 多軸垂直度偏差控制至角秒級(jí)

23. 角度臺(tái)（測(cè)角臺(tái) / 弧度臺(tái)）角度分辨率 0.001°，回轉(zhuǎn)跳動(dòng)極小

24. 自動(dòng)調(diào)芯 EW 系列，對(duì)位分辨率 10nm，適配硅光子芯片光波導(dǎo)耦合

25. 長(zhǎng)行程滑臺(tái)冷熱循環(huán)精度穩(wěn)定，溫差環(huán)境形變抑制工藝成熟

26. 垂直安裝工況負(fù)載定位無(wú)下沉，斷電剎車(chē)鎖定精度不變

27. 高速啟停無(wú)過(guò)沖、無(wú)震蕩，自研運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)平滑算法

28. 負(fù)載重心偏移自動(dòng)補(bǔ)償，多軸堆疊姿態(tài)誤差抑制技術(shù)成熟

29. 球面微調(diào)臺(tái)傾斜微調(diào)角秒級(jí)，光學(xué)光路校準(zhǔn)專(zhuān)用

30. 非接觸激光自準(zhǔn)直 Smart LAC 系列，瞬間完成姿態(tài)測(cè)量，行業(yè)最小體積